[实用新型]一种片状放大器的循环气体吹扫系统

权利要求书

1.一种片状放大器的循环气体吹扫系统，其特征在于：包括氮氧混合气站和氮氧混合气循环系统；所述氮氧混合气站包括液氮储罐、液氧储罐、第一汽化器、第二汽化器、第一减压阀、第二减压阀、混合配比器、第一气体储罐、第二气体储罐、第三减压阀、第四减压阀、第一温控器和第二温控器；所述氮氧混合气循环系统包括组合空调器、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门、片状放大器、气体参数传感器和循环气体控制模块；组合空调器包括风机、温控器和过滤器；液氮储罐通过管道与第一汽化器连接，第一汽化器另一端通过管道与第一减压阀连接，第一减压阀通过管道分别与第一气体储罐和混合配比器连接，第一气体储罐之后的管道上依次设置第三减压阀和第一温控器，然后通过第三阀门与组合空调器一端连接；液氧储罐与第二汽化器连接后再通过第二减压阀与混合配比器连接，混合配比器再依次连接第二气体储罐、第四减压阀和第二温控器，然后再连接氮氧混合气循环系统的第六阀门；组合空调器另一端通过第一阀门和第二阀门与片状放大器连接；第四阀门通过管道一端连接在第三阀门与组合空调器之间，另一端通过管道连接在第六阀门与第五阀门之间；第五阀门另一端通过管道连接在第一阀门与第二阀门之间，第七阀门一端与片状放大器另一端与第五阀门、第四阀门和第六阀门分别连接；气体参数传感器设置在组合空调器与第一阀门之间、第二阀门与片状放大器之间、片状放大器与第七阀门之间；循环气体控制模块分别与气体参数传感器以及各阀门相连接。

2.根据权利要求1所述的片状放大器的循环气体吹扫系统，其特征在于：气体参数传感器包括压力传感器、温度传感器和湿度传感器。