[实用新型]一种多孔质节流器气浮转台

说明书

本实用新型公开了一种多孔质节流器气浮转台，属于气浮转台领域，旨在提供一种承载力大，刚度高的多孔质节流器气浮转台，其技术方案要点如下，包括底座和动力组件，动力组件设于底座上，还包括气浮装置；气浮装置包括导气通道、上浮多孔质节流器、下浮多孔质节流器、径向轴承、轴承套、上止推板、下止推板和浮台，径向轴承嵌套于轴承套内，上浮多孔质节流器和下浮多孔质节流器分别位于轴承套上下两端，上浮多孔质节流器上端连接上止推板，下浮多孔质节流器下端连接下止推板；下止推板通过设有的连接板与动力组件连接，上止推板与浮台连接导气通道设于上止推板和下止推板内，分别与上浮多孔质节流器和下浮多孔质节流器连接。

技术领域

本实用新型涉及气浮转台，特别涉及一种多孔质节流器气浮转台。

背景技术

随着气体润滑剂的应用日益广泛，空气轴承的研究也越来越受到重视，而空气轴承具有回转精度高，平稳性好；且在高速旋转时摩擦生热小，热变形误差很小，驱动功率要求小，不易污染等优点，因此，空气轴承在超精密转台中得到广泛应用。

公开号为105928960A的中国专利公开了一种精密气浮转台，包括壳体、空气轴承、电机和回转芯轴，空气轴承包括主轴系统和导气系统，主轴系统包括空心轴I、空心轴II以及上止推板和下止推板，空心轴I设于上止推板和下止推板之间，且空心轴I与空心轴II、上止推板和下止推板分别间隙配合；空心轴II内套装有的回转芯轴、且空心轴II与回转芯轴过盈配合；导气系统包括有导气环、进气通道以及出气通道。

这种精密气浮转台具有摩擦损耗低的特点，能够满足工业CT扫描系统对转台的要求。但是在实际使用过程中，由于使用空心轴直接与止推板接触配合，依靠气浮力进行竖直方向的推动，空心轴与止推板接触面积较小，导致空心轴的受力面积小，容易因为止推板的重力而发生形变，所以止推板的重力不宜过大，导致气浮转台承载力小，刚度低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多孔质节流器气浮转台，具有承载力大，刚度高的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种多孔质节流器气浮转台，包括底座和动力组件，所述动力组件设于底座上，其特征在于：还包括气浮装置；

所述气浮装置包括导气通道、上浮多孔质节流器、下浮多孔质节流器、径向轴承、轴承套、上止推板、下止推板和浮台，所述径向轴承嵌套于轴承套内，所述上浮多孔质节流器和下浮多孔质节流器分别位于轴承套上下两端，所述上浮多孔质节流器上端连接上止推板，所述下浮多孔质节流器下端连接下止推板；上浮多孔质节流器和下浮多孔质节流器均与所述下止推板通过设有的连接板与动力组件连接，所述上止推板与浮台连接；导气通道设于上止推板和下止推板内，分别与上浮多孔质节流器和下浮多孔质节流器连接。

通过采用上述技术方案，多孔质节流器透气性较好，使得气体产生更加均匀的浮力分布，对工作台有较高的承载能力和静态刚度。工作人员将径向轴承嵌套于轴承套内，径向轴承起到径向支撑的作用，然后将上浮多孔质节流器放在轴承套上端，上浮多孔质节流器与上止推板抵触，气体通过导气通道和上浮多孔质节流器对上止推板形成浮力，从而对浮台有向上推力；接着下浮多孔质节流器位于轴承套下端，下浮多孔质节流器与下止推板抵触，气体通过导气通道和下浮多孔质节流器对下止推板形成压力，下止推板对下浮多孔质节流器形成反作用力，即可提供背压力。浮力和背压力共同作用，起到支撑浮台的目的，使得气浮转台承载力大，刚度高。

进一步的，所述上浮多孔质节流器和下浮多孔质节流器结构相同，包括圆柱状壳体和多孔质材料，所述壳体上设有周向分布的若干隔板，所述隔板的侧壁开设有垂直于壳体轴线的定位槽，所述多孔质材料凸起有与定位槽相适配的定位块。