[实用新型]一种真空等离子镀膜用加热装置

说明书

本实用新型真空镀膜涉及技术领域,本实用新型公开了一种真空等离子镀膜用加热装置，包括壳体、第一加热层、第二加热层和第三加热层，所述壳体的内部由下至上依次设置有第一加热层、第二加热层和第三加热层，所述壳体的底部内壁上设置有底板，所述底板的两侧呈对称设置有滑轨，所述滑轨上放置有调节座，所述滑轨上设置有固定柱，所述固定柱的柱体上自下至上依次设置有三组相同的推杆电机，所述推杆电机的输出端连接有电动推杆，本实用新型解决了加热丝加热效率低，无法保证加工产品品质的问题，既可以均匀加热，同时可以改善温度的变化情况，温度调控效果好，加热效率提高，极大的保证了产品的加工品质。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空等离子镀膜用加热装置。

背景技术

真空镀膜加热模块是在真空箱体的门板内或箱体边沿内安装加热模块，温度通过热辐射的方式到基板上，使之达到相应温度从而满足产品的性能要求。

现有技术下，真空镀膜装置采用上中下三层加热丝的设计，每层加热丝有单独热电偶测温，这样可以调节上中下层的温度来满足不同工艺的需要，然而这种加热技术并不能确保加热均匀，且加热过程中控制效果差，无法避免在加热中加热丝发生异常的状况而造成的损失。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的加热丝加热效率低，无法保证加工产品品质的缺点，而提出的一种真空等离子镀膜用加热装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种真空等离子镀膜用加热装置，包括壳体、第一加热层、第二加热层和第三加热层，所述壳体的内部由下至上依次设置有第一加热层、第二加热层和第三加热层，所述壳体的底部内壁上设置有底板，所述底板的两侧呈对称设置有滑轨，所述滑轨上放置有调节座，所述调节座的侧面通过紧固螺钉固定连接有安装架，且两侧的安装架之间通过加热丝对接固定，所述滑轨上设置有固定柱，所述固定柱竖直放置，且固定柱位于滑轨的中心线上，所述固定柱的柱体上自下至上依次设置有三组相同的推杆电机，相邻的推杆电机之间的间隔相等，所述推杆电机的输出端连接有电动推杆，所述电动推杆远离推杆电机的一端固定于调节座上。

优选的，所述第一加热层、第二加热层和第三加热层均由加热丝组成，且第一加热层、第二加热层和第三加热层上均设置有热电偶。

优选的，所述调节座的数量有两侧，且调节座放置于固定柱的两侧，调节座的底部设有滑轮，调节座与滑轨成滑动配合。

优选的，所述第一加热层、第二加热层和第三加热层内的加热丝均横向排列。

优选的，所述调节座接近固定柱的侧壁上开设有竖直贯通的让位槽，所述推杆电机位于让位槽的内侧，且电动推杆的端部延伸至让位槽的槽底。

优选的，所述壳体的截面结构为腰型。

本实用新型的有益效果是：

1、加热丝的结构为半圆形，各个加热层呈对称分布，加热丝可以环绕在待加热物的外侧，进行加热，且可以保证加热均匀；

2、推杆电机调节加热丝与待加热物之间的距离变化，这样适用于温度调控，保证加热的效率。

综上，本装置结构简单，设计新颖，既可以均匀加热，同时可以改善温度的变化情况，温度调控效果好，加热效率提高，极大的保证了产品的加工品质。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空等离子镀膜用加热装置的主视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种真空等离子镀膜用加热装置的俯视结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种真空等离子镀膜用加热装置的图2中A处结构示意图。