[实用新型]防呆型化学桶快速连接接头

说明书

本实用新型涉及一种防呆型化学桶快速连接接头，包括出液管、出液接头、氮气补气接头、固定旋转轴、固定密封盖、桶上接头及汲取管，所述出液管密封连接出液接头，所述出液接头上设有氮气补气接头，所述出液接头密封连接固定旋转轴，所述固定旋转轴密封连接桶上接头，所述桶上接头外围套接固定密封盖，所述固定密封盖配合连接桶上接头，所述桶上接头密封连接汲取管；本实用新型结构紧凑，使用非常安全，同时满足汲取液体和补充氮气的的使用需求。将固定密封盖上增加凸块和桶上接头上凹槽设计，使得每一个接头对应唯一的化学药液桶，从更本上杜绝的用错化学药液的安全生产事故，可以快速使用，提高了工作效率。

[技术领域]

本实用新型涉及化学品供应设备技术领域，具体地说是一种防呆型化学桶快速连接接头。

[背景技术]

在随着我国半导体行业的不断发展，集成电路生产线在我国也已开始越来越规模化。半导体制程前端的化学品供应系统，其工作中的任何问题都可能会造成不可估量的损失，因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性。半导体制造厂商已越来越重视该制程中的每一个化学品供应设备。而化学品供应系统的化学品的来源，一般分3大类，分别是槽车(LORRY),标准桶槽(Chemical Container),以及本地储存桶槽(Local Tank)。由于集成电路制造工艺中需要使用到较多种类的化学品。因此对比在有限的场地条件下大部分厂商都会对使用量相对不大的化学品都运用双标准桶(Dual Drum)供应系统方式。并运用人工换桶的方式来进行化学品的补充。

根据目前化学品供应系统人工换桶的使用的情况，将化学品经从酸桶分配至不同的用户端之前，需要人力对化学品桶更换接头并保证其正确对应需要的化学品，以保证用户端能够摄取到符合需求的化学品。对于化学品供应桶来说，由于需要在向供应系统供给化学品时进行氮气等惰性气体的补充以获得桶内的压力平衡，因此会在化学品桶上分别开设一个气口和一个化学品进出口，由于半导体化学品都是属于危险化学品，即使在使用专用工具的条件下，更换化学品桶对于操作人员来说也是一项费时费力的工作，主要原因是为了防止化学品的泄露和错换接头，所以为了防止错换接头，所以接头设计的结构非常复杂。由于目前化学品桶更换方式的固定，使得无法实现自动化，所以现有电子级化学品换桶部件自动化程度低，安全保护措施不充分等问题。随着国内半导体行业的快速发展，因此对设备生产效率，洁净度，安全性等也提出更高的要求。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种防呆型化学桶快速连接接头。结构紧凑，使用非常安全，同时满足汲取液体和补充氮气的的使用需求。将固定密封盖上增加凸块和桶上接头上凹槽设计，使得每一个接头对应唯一的化学药液桶，从更本上杜绝的用错化学药液的安全生产事故，可以快速使用，提高了工作效率。

为实现上述目的设计一种防呆型化学桶快速连接接头，包括出液管1、出液接头14、氮气补气接头15、固定旋转轴5、固定密封盖8、桶上接头13及汲取管17，所述出液管1密封连接出液接头14，所述出液接头14上设有氮气补气接头15，所述氮气补气接头15进气口端密封连接氮气进气管，所述出液接头14内部设有与氮气补气接头15相连通的氮气旁通管二3，所述出液接头14下端密封连接固定旋转轴5，所述出液接头14内部出液管穿过固定旋转轴5，所述固定旋转轴5内部设有与氮气旁通管二3相连通的空腔19，所述固定旋转轴5外围套接固定密封盖8，所述固定密封盖8下端配合连接桶上接头13，所述固定密封盖8下端面设有判别密封凸块9，所述桶上接头13上端面设有与判别密封凸块9相对应的判别密封凹槽10，所述固定旋转轴5密封连接桶上接头13，所述固定旋转轴5中心的出液管插入连接桶上接头13内部，所述桶上接头13下端密封连接汲取管17，所述汲取管17与桶上接头13内部的出液管相连通，所述桶上接头13内部设有与固定旋转轴5内部空腔19相连通的氮气旁通管三11，所述氮气旁通管三11下端与化学药液桶16内部空腔相连通。

进一步地，所述固定旋转轴5下端外圆面上设有外螺纹4，所述桶上接头13内部内圆面上设有与外螺纹4相配合的内螺纹18。