[实用新型]低接触晶圆对中、翻转系统

权利要求书

1.一种低接触晶圆对中、翻转系统，其特征在于：包括低接触对中机构(1)、活动夹持装置(2)、固定夹持装置(3)、晶圆翻转机构(7)及支撑架(9)，其中晶圆翻转机构(7)包括翻转执行机构(701)及夹持执行机构(702)，该翻转执行机构(701)安装在支撑架(9)上、输出端连接有转盘(901)，所述夹持执行机构(702)设置在转盘(901)上，所述活动夹持装置(2)的一端与夹持执行机构(702)的输出端连接，所述固定夹持装置(3)的一端安装在转盘(901)上，该活动夹持装置(2)及固定夹持装置(3)的另一端均为夹持端，晶圆(6)的一侧设有对其进行对中的低接触对中机构(1)；所述活动夹持装置(2)通过夹持执行机构(702)的驱动相对于转盘(901)移动，与固定夹持装置(3)夹持晶圆(6)，所述夹持执行机构(702)、活动夹持装置(2)、固定夹持装置(3)及被夹持的晶圆(6)随转盘(901)由翻转执行机构(701)驱动旋转。

2.根据权利要求1所述的低接触晶圆对中、翻转系统，其特征在于：所述低接触对中机构(1)包括对中升降结构(101)、对中运动执行机构(102)、对中支撑PIN(103)、对中终端接触器(104)、承载台(105)及夹臂(106)，该承载台(105)安装在对中升降结构(101)上，所述承载台(105)上设有对中运动执行机构(102)，该对中运动执行机构(102)的两个输出端分别连接有夹臂(106)，每端夹臂(106)的夹持端均安装有与晶圆(6)接触的对中终端接触器(104)；所述承载台(105)上设有支撑晶圆(6)的对中支撑PIN(103)。

3.根据权利要求1所述的低接触晶圆对中、翻转系统，其特征在于：所述活动夹持装置(2)包括上低接触支撑柱(201)、上托盘连接件(203)、上手臂(204)及上托盘(205)，该上手臂(204)的一端与所述夹持执行机构(702)输出端相连，另一端设有上托盘连接件(203)，所述上托盘连接件(203)上安装有上托盘(205)，所述上托盘(205)上设置有用于夹持晶圆(6)的上低接触支撑柱(201)。

4.根据权利要求3所述的低接触晶圆对中、翻转系统，其特征在于：所述上托盘连接件(203)的一侧与上手臂(204)的另一端相连，且上托盘连接件(203)的一侧与上手臂(204)的另一端之间留有高度调整间隙(206)；所述上托盘(205)的前后两端与上托盘连接件(203)之间设有侧调整间隙。

5.根据权利要求1所述的低接触晶圆对中、翻转系统，其特征在于：所述固定夹持装置(3)包括下低接触支撑柱(301)、固定托盘(302)、固定托盘连接体(303)及固定手臂(304)，该固定手臂(304)的一端与所述转盘(901)固连，另一端设有固定托盘连接体(303)，所述固定托盘连接体(303)上安装有固定托盘(302)，该固定托盘(302)上设置有用于夹持晶圆(6)的下低接触支撑柱(301)。

6.根据权利要求1所述的低接触晶圆对中、翻转系统，其特征在于：所述活动夹持装置(2)上设有活动夹持装置对中导柱(202)，所述固定夹持装置(3)上设有固定夹持装置对中导柱(305)，该固定夹持装置对中导柱(305)上安装有翻转单元治具导向座(8)，所述活动夹持装置对中导柱(202)在校准位置时插入翻转单元治具导向座(8)的定位槽中。

7.根据权利要求1所述的低接触晶圆对中、翻转系统，其特征在于：所述转盘(901)上沿径向开设有条形槽，所述活动夹持装置(2)的一端由该条形槽穿过、并与所述夹持执行机构(702)的输出端相连。

8.根据权利要求1所述的低接触晶圆对中、翻转系统，其特征在于：所述活动夹持装置(2)的一端由转盘(901)穿过，并设有连接板(705)，转盘(901)上设有滑轨(706)，所述连接板(705)通过滑块与该滑轨(706)滑动连接；所述夹持执行机构(702)的输出端与连接板(705)相连。