[实用新型]用于多晶硅制备的定向凝固机构

权利要求书

1.用于多晶硅制备的定向凝固机构，包括冷却盘(1)，其特征在于，所述冷却盘(1)包括圆筒形壳体(101)，壳体(101)内设有同轴心线的气体分布套筒I(102)和气体分布套筒П(103)，所述气体分布套筒П(103)套设在气体分布套筒I(102)外；气体分布套筒П(103)的外径小于壳体(101)的内径，所述气体分布套筒П(103)的内径大于气体分布套筒I(102)的外径；

气体分布套筒I(102)和气体分布套筒П(103)侧壁内部均为环形中空腔室结构，气体分布套筒П(103)的内侧壁、气体分布套筒I(102)的外侧壁上均开设有通气孔(104)；

所述壳体(101)的底部设有沿周向设有环状进气室(105)，所述进气室(105)与气体分布套筒I(102)的中空腔室、气体分布套筒П(103)的中空腔室、以及气体分布套筒I(102)外壁和气体分布套筒П(103)内壁之间的环形腔室之间通过进气孔(106)连通；

壳体(101)的底部沿周向设有环状排气室(107)，所述排气室(107)与气体分布套筒П(103)外壁和壳体(101)内壁之间的环形腔室之间通过排气孔(108)连通；

壳体(101)底部几何中心处还设有排气管(109)，所述排气管(109)与气体分布套筒I(102)的筒内环境通过排气孔(108)连通；

所述进气室(105)上设有进气管道(110)，排气室(107)和排气管(109)上设有排气管道(111)。

2.根据权利要求1所述的用于多晶硅制备的定向凝固机构，其特征在于，所述气体分布套筒П(103)的内侧壁上的通气孔(104)与气体分布套筒I(102)的外侧壁上的通气孔(104)交错排布。

3.根据权利要求1所述的用于多晶硅制备的定向凝固机构，其特征在于，所述壳体(101)的顶部敞口端设有盖板(112)，所述盖板(112)通过石墨螺栓(113)进行可拆卸连接。

4.根据权利要求3所述的用于多晶硅制备的定向凝固机构，其特征在于，所述盖板(112)的下板面上靠近外缘处沿周向开设有密封槽(115)，所述密封槽(115)内设有密封垫；所述壳体(101)的顶部敞口端嵌入密封槽(115)内与密封垫过度配合压紧固定。

5.根据权利要求3所述的用于多晶硅制备的定向凝固机构，其特征在于，所述盖板(112)采用石墨导热板制成。

6.根据权利要求3所述的用于多晶硅制备的定向凝固机构，其特征在于，所述盖板(112)的内板面上设有若干散热翅片(114)。

7.根据权利要求6所述的用于多晶硅制备的定向凝固机构，其特征在于，所述散热翅片(114)以盖板(112)的几何中心为基点沿径向呈辐射状排布。

8.根据权利要求1所述的用于多晶硅制备的定向凝固机构，其特征在于，所述进气管道(110)和排气管道(111)上均设有气体流量控制阀。