[实用新型]MEMS器件检测电路和设备

说明书

本实用新型涉及一种MEMS器件检测电路和设备，所述电路包括控制电路、MEMS驱动电路、第一采样电路和MEMS器件；所述控制电路的输出端与所述MEMS驱动电路的输入端连接，所述MEMS驱动电路的输出端与所述第一采样电路的输入端连接，所述第一采样电路的第一输出端与所述MEMS器件连接，所述第一采样电路的第二输出端与所述控制电路连接；所述第一采样电路用于在预设时间段内获取采样电压，并将所述采样电压传输给所述控制电路；所述控制电路用于根据所述采样电压和所述控制电路输出的驱动电压，判断MEMS器件是否失效。用此电路和方法检测MEMS器件时，无需借助外部测试设备，检测效率快；且此电路易于集成，成本较低，检测精度高。

技术领域

本实用新型涉及电路领域，尤其涉及一种MEMS器件检测电路和设备和设备。

背景技术

固态激光雷达已经成为自动驾驶的主要组成部件，而微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)振镜属于固态激光雷达里面的重要组成部分。MEMS振镜运行是否正常直接关系到测距的范围与精度和环境感知的正确性，所以MEMS器件工作的正常非常重要。

传统的判定MEMS器件是否正常的方法，通常使用显微镜肉眼检查MEMS振镜内部谐振腔有无异常，或者利用位于激光雷达传输引擎光学路径上的位置灵敏探测器(PositionSensitive Device,PSD),但是上述利用PSD的方法严重依赖外部激光器以及正确的光路，还需要搭建一套完整的结构平台，检测方法可靠性较低，检测效率也很低。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述问题提供一种MEMS器件检测电路和设备。

第一方面，本申请实施例提供一种MEMS器件检测电路，包括：

一种MEMS器件检测电路，其特征在于，所述电路包括控制电路、MEMS驱动电路、第一采样电路和MEMS器件；所述控制电路的输出端与所述MEMS驱动电路的输入端连接，所述MEMS驱动电路的输出端与所述第一采样电路的输入端连接，所述第一采样电路的第一输出端与所述MEMS器件连接，所述第一采样电路的第二输出端与所述控制电路连接；

所述第一采样电路用于在预设时间段内获取采样电压，并将所述采样电压传输给所述控制电路；

所述控制电路用于根据所述采样电压和所述控制电路输出的驱动电压，判断MEMS器件是否失效。

在其中一个实施例中，所述第一采样电路包括采样电阻和第二采样电路；所述采样电阻的第一端分别与所述MEMS驱动电路的输出端和所述第二采样电路的第一输入端连接；所述采样电阻的第二端分别与所述MEMS器件和所述第二采样电路的第二输入端连接；所述第二采样电路用于在所述预设时间段内获取所述采样电阻两端的所述采样电压，并将所述采样电压传输给所述控制电路。

在其中一个实施例中，所述第二采样电路为模数转换电路。

在其中一个实施例中，所述MEMS器件为振镜。

在其中一个实施例中，所述控制电路为可编程逻辑器件FPGA电路。

在一个实施例中，所述根据所述采样电压和所述MEMS器件检测电路的驱动电压，判断MEMS器件是否失效，包括：

采用预设的信号解析方法，对所述采样电压进行解析，获取解析后的采样电压；

根据所述解析后的采样电压和所述MEMS器件检测电路的驱动电压，判断MEMS器件是否失效。

在一个实施例中，所述控制电路具体用于采用预设的信号解析方法，对所述采样电压进行解析，获取解析后的采样电压；并根据所述解析后的采样电压和所述MEMS器件检测电路的驱动电压，判断MEMS器件是否失效。