[实用新型]一种防反镀的电镀夹具

说明书

本实用新型公开了一种防反镀的电镀夹具，包括固定夹板，所述固定夹板有两个，其中一个所述固定夹板的侧壁上端固定连接有第一弹簧的一端，所述第一弹簧的另一端固定连接在另一个固定夹板的侧壁上端，其中一个所述固定夹板固定连接有转动杆，所述转动杆转动套设有转动板，所述转动板固定连接在另一个固定夹板的相对侧壁上，且转动板和转动杆均位于第一弹簧的下方。夹具的外表设置有绝缘防腐蚀结构，可以有效防止夹具被电镀。替换导电单元活动卡接，安装拆卸的操作简单方便，便于使用，维护方便。替换导电单元内部的导电结构可收入替换导电单元内部，可有效保护导电结构，有效提升使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种防反镀的电镀夹具。

背景技术

目前电镀的方式有很多种类,依基板放置方式可分为水平,垂直电镀,静止或行走方式进行电镀等。其中垂直挂镀的电镀方式中,通常会使用金属夹具接触基板,接成为阴极作为被镀物。垂直挂镀的电镀方式中,阴极夹具易跟随着基板被镀上金属,而造成后续电镀的基板均匀度变差,故需将夹具做去镀的处理,才能改善。去镀处理费时费力，增加生产成本。

发明内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种防反镀的电镀夹具，通过防止夹具被电镀来保证电镀效果。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种防反镀的电镀夹具，包括固定夹板，所述固定夹板有两个，其中一个所述固定夹板的侧壁上端固定连接有第一弹簧的一端，所述第一弹簧的另一端固定连接在另一个固定夹板的侧壁上端，其中一个所述固定夹板固定连接有转动杆，所述转动杆转动套设有转动板，所述转动板固定连接在另一个固定夹板的相对侧壁上，且转动板和转动杆均位于第一弹簧的下方；

所述固定夹板包括第一绝缘板，所述第一绝缘板的下端固定连接有螺纹套板，所述螺纹套板固定套接有保护壳，所述保护壳与第一绝缘板端面固定连接，所述保护壳和螺纹套板的远离第一弹簧的一端均开设有插槽，所述插槽活动卡接有替换导电单元；

所述替换导电单元包括拉环，所述拉环固定连接有插块，所述插块靠近拉环的一端固定连接有限位板，所述限位板与保护壳的外侧壁相抵触，所述插块的内部开设有安装室，所述安装室为长方体结构，所述安装室的内顶壁固定插接有导电触块，且导电触块的上端面和插块的上端面齐平，所述导电触块的下端面位于安装室的内部，且导电触块的上端面开设有圆柱型凹槽，所述安装室的内底壁开设有滑动槽，所述滑动槽的内侧壁滑动连接有滑动环，所述滑动环的内圈侧壁固定连接有磁性连接杆的下端，所述磁性连接杆的上端固定连接有导电板，所述导电板倾斜设置，所述导电板的下端面固定连接有第二弹簧的一端，所述第二弹簧的另一端固定连接在滑动槽的内底壁上，所述导电板远离磁性连接杆的一端抵触有导电柱，所述导电柱靠近导电板的一端为四棱台型结构，所述导电板的前侧壁和后侧壁均固定连接有滑动板，所述滑动板与安装室的内壁滑动连接，所述滑动板通过第三弹簧连接在安装室的侧壁上，所述安装室远离拉环的侧壁开设有插孔，所述导电柱活动插接在插孔中，所述插孔的内顶壁开设有条形通孔，条形通孔内侧壁的上端固定连接有限位块，且所述插孔的内底壁开设有条形收纳槽，所述条形收纳槽与条形通孔共面设置，且条形收纳槽与条形通孔活动插接有同一个密封隔板，所述密封隔板的上半部开设有匹配导电柱的圆孔，所述密封隔板的下端通过第四弹簧与条形收纳槽的内底壁连接；

所述螺纹套板螺纹插接有导电杆，所述导电杆的下端面固定连接有永磁块，所述导电杆的上端贯穿第一绝缘板的上端面并固定连接有压线盖板，所述永磁块可插接在导电触块上的圆柱型凹槽中，所述导电杆固定套接有转动环，所述螺纹套板的下端开设有转动腔，所述转动腔远离拉环的侧壁开设有竖直方向的条形滑孔，所述条形滑孔与保护壳内侧壁下端开设的纵向设置的安装槽连通，所述转动腔为圆柱型结构，所述转动环位于转动腔内，所述转动环的下端面抵触有连接条，所述连接条的下端面通过第五弹簧与安装槽的内底壁连接，所述连接条靠近导电杆的一端活动套设在导电杆上，所述连接条的另一端贯穿位于安装槽内并垂直固定连接有抵板的一端，所述抵板的另一端与密封隔板的上端相抵触。