[实用新型]一种可远程交互的半导体综合参数测试设备

说明书

本实用新型提出一种可远程交互的半导体综合参数测试设备，包括控制系统、电流检测模块、电压检测模块、C‑V测试单元、高精度DDS模块、显示屏、通信接口、图像处理模块、电流源、电压源、摄像头、无线通讯模块及复用接口组件，电流检测模块、电压检测模块、C‑V测试单元、高精度DDS模块任意两者之间通过控制系统切换；电流检测模块上连接有电流检测接口，电压检测模块上连接有电压检测接口，C‑V测试单元上连接有电容检测接口，高精度DDS模块上连接有信号输出口，电流源上连接有电流输出口，电压源上连接有电压输出口。本实用新型兼具电流检测、电压检测、电源、数字信号发生器等多种功能，结构紧凑、体积小，具有远程交互功能。

技术领域

本实用新型属于半导体性能测试技术领域，特别是指一种可远程交互的半导体综合参数测试设备。

背景技术

半导体物理与器件的测试实验是高校电子科学与技术系的一门重要课程，学生在学习“半导体物理”、“微电子器件”等课程的理论学习的同时，需要进行大量的实验课以辅助学生们对半导体器件知识的学习。性能良好、功能强大的实验设备是保证半导体测试实验正常进行的基础。目前，高校半导体测试实验设备存在稳定性差、测试功能单一的缺陷，不同的测试实验需要切换至不同的测试设备，因而半导体设备种类繁多、占用实验室空间大，造成单次可供实验学生数量少，上课效率低下。再者，现有的半导体测试实验设备放置于实验室内，学生必须在实验室内进行操作，因而实验时间与地点固定，然而现实中存在很多种特殊情况导致学生无法在特定时间内去实验室做实验。如何设计一种体积小、功能多、可以通过手机或电脑操作的半导体综合参数测试设备，是目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

为解决以上现有技术的不足，本实用新型提出了一种可远程交互的半导体综合参数测试设备。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种可远程交互的半导体综合参数测试设备，包括控制系统、电流检测模块、电压检测模块、C-V测试单元、高精度DDS模块、显示屏、通信接口、图像处理模块、电流源、电压源、摄像头和无线通讯模块，电流检测模块、电压检测模块、C-V测试单元、高精度DDS模块、电流源、电压源、显示屏、通信接口分别与控制系统电性连接，电流检测模块、电压检测模块、C-V测试单元、高精度DDS模块任意两者之间通过控制系统实现切换；

电流检测模块上连接有电流检测接口，电压检测模块上连接有电压检测接口，C-V测试单元上连接有电容检测接口，高精度DDS模块上连接有信号输出口，电流源上连接有电流输出口，电压源上连接有电压输出口，摄像头通过图像处理模块与控制系统连接；

电流检测接口、电压检测接口、电容检测接口、信号输出口、电压输出口、电流输出口分别连接有复用接口组件，复用接口组件包括复用接口一、复用接口两、复用接口三、复用接口四；

可远程交互的半导体综合参数测试设备通过无线通讯模块与学生电脑或手机客户端经由互联网进行远程连接。

优选的，控制系统为STM32单片机。

更为优选的，无线通讯模块为WiFi模块或Zigbee模块。

最为优选的，显示屏为LCD屏幕。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、兼具电流检测、电压检测、电源、数字信号发生器等多种功能，能够满足四探针测试半导体电阻率、肖特基二极管的I-V特性测试分析、肖特基二极管的势垒高度及半导体杂质浓度的测试分析、PN结势垒特性及杂质的测试分析、MIS的高频C-V测试、二极管直流参数测试、双极型晶体管直流参数测试、MOS场效应晶体管直流参数测试、双极型晶体管开关时间测试、双极型晶体管特征频率测试等实验的需要；

2、结构紧凑、体积小、易操作，安装方便；