[实用新型]一种用于制造大型真空腔体的振动时效装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜设备制造技术领域，其公开了一种用于制造大型真空腔体的振动时效装置，包括米字结构的平衡梁、振动时效机，所述米字结构的平衡梁的各悬臂端连接真空腔体的顶部密封面，所述振动时效机设于所述米字结构的平衡梁的中心部位，且所述米字结构的平衡梁的中心与所述顶部密封面的中心位于同一铅垂线上。本实用新型提高了真空腔体焊接后去应力处理时应力释放的均匀性、减少了去应力处理后的异常变形，同时提高了机械加工后的零件质量。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备制造技术领域，具体涉及一种用于制造大型真空腔体的振动时效装置。

背景技术

真空腔体是大型真空镀膜设备中的核心零件。如图3所示为一种典型结构的大型真空腔体，该大型真空腔体的外形为长方体结构的奥氏体不锈钢焊接结构件，其长度超过10米，高度超过4米，宽度超过2米。真空腔体的上部设有法兰密封面，底部设有用于机械加工定位的基准面。

现有技术中，上述大型真空腔体的制造存在以下问题：

由于零件尺寸较大，焊接后的去应力处理大多采用振动时效去应力处理，具体方法是将振动时效机(激振电机)固定在大型真空腔体的某一部位(为了固定方便，通常是固定在某一边角位置)，然后通过振动时效机的振动时效真空腔体内部应力的去除。但是由于振动时效机是固定在某一部位，振动时效机的激振力会随着距离的增大而衰减，振动时效时靠近振动时效机部位的部分应力首先释放，远离振动时效机部位的应力后释放，使得应力释放的时间和大小都不一致。且由于真空腔体各部位强度不同，上述这种应力释放的不一致特别是在真空腔体较为薄弱的部位其激振力的过载，会导致真空腔体各部位在振动时效后的异常变形，并使得真空腔体的上部法兰密封面变形后不平整，经过机械加工后法兰面厚薄不均，从而影响到其外观质量和最终的密封性能。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提出一种用于制造大型真空腔体的振动时效装置，旨在提高真空腔体焊接后去应力处理时应力释放的均匀性、减少去应力处理后的异常变形，同时提高机械加工后的零件质量。具体的技术方案如下：

一种用于制造大型真空腔体的振动时效装置，包括米字结构的平衡梁、振动时效机，所述米字结构的平衡梁的各悬臂端连接真空腔体的顶部密封面，所述振动时效机设于所述米字结构的平衡梁的中心部位，且所述米字结构的平衡梁的中心与所述顶部密封面的中心位于同一铅垂线上。

上述技术方案中，采用了米字结构的平衡梁，且振动时效机设置在所述米字结构的平衡梁的中心部位，一方面米字结构的平衡梁与真空腔体的连接能够加固真空腔体上较为薄弱处的强度，降低振动时效时由于应力释放的先后顺序不一致而导致的异常变形问题，从而使得真空腔体的变形更为均匀；另一方面振动时效机设置在米字结构的平衡梁的中心部位可以使得真空腔体应力的释放更为平衡和均匀，从而可以进一步减少真空腔体的顶部密封面变形导致的不平整，提高后续机械加工的质量。

本实用新型中，所述米字结构的平衡梁的各悬臂端分别连接所述真空腔体的顶部密封面四个角部位置、左右边的中部位置、上下边的中部位置。

本实用新型的一种用于制造大型真空腔体的振动时效装置还包括连接在所述真空腔体底部的若干数量的缓冲轮胎，所述缓冲轮胎位于所述米字结构的平衡梁的各悬臂端的正下方。

通过将缓冲轮胎设置在所述米字结构的平衡梁的各悬臂端的正下方，可以防止真空腔体在悬空点部位的激振力负荷过载，从而使得应力的释放更为均匀。

作为本实用新型的一种优选方案，所述米字结构的平衡梁与所述真空腔体的连接为点焊连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述米字结构的平衡梁的中心部位还设置有加固板，所述振动时效机安装在所述加固板上。

通过在平衡梁的中心部位设置加固板，可以增强平衡梁的刚度，较少振动时效时激振力的衰减，从而提高振动时效的质量。