[实用新型]一种镀膜机清洁系统

说明书

本实用新型公开了一种镀膜机清洁系统，包括清洁刷装置、清洁液装置、废液收集装置和干燥装置；所述清洁刷装置包括设于真空室内部的清洁刷板、设于真空室外部的驱动电机以及一端设于所述清洁刷板上、另一端与所述驱动电机相连的L型连接杆；所述清洁液装置包括化学清洁液组件和清水清洁液组件；所述废液收集装置设于真空室外部，顶部通过管道与真空室底部相连；所述干燥装置设于真空室顶部内侧。本实用新型提供了一种镀膜机清洁系统，可对镀膜机真空室进行快速、全面、高效的清洁。

技术领域

本实用新型属于镀膜设备的维护和保养技术领域，具体涉及一种镀膜机清洁系统。

背景技术

真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，主要分成蒸发镀膜和溅射镀膜两种。无论是蒸发镀膜还是溅射镀膜，在镀膜的过程中均需经历原子团或离子团发散和沉积最终形成薄膜的过程，因此原子团或离子团在真空室内发散，极易附着在镀膜设备真空室的内壁上。

真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次，常用的清洁方法是用化学溶液反复擦洗镀膜设备真空室内壁，再用清水清洗镀膜设备真空室。在现有技术中，大多采用人工清洗擦拭的方法对镀膜设备真空室进行清洁，不仅效率低，而且对于大型的镀膜设备真空室，往往存在清洁不全面、人工操作难度大的问题。

发明内容

为了解决所述现有技术的不足，本实用新型提供了一种镀膜机清洁系统，可对镀膜机真空室进行快速、全面、高效的清洁。

本实用新型所要达到的技术效果通过以下方案实现：

本实用新型提供的镀膜机清洁系统，包括清洁刷装置、清洁液装置、废液收集装置和干燥装置；

所述清洁刷装置包括设于真空室内部的清洁刷板、设于真空室外部的驱动电机以及一端设于所述清洁刷板上、另一端与所述驱动电机相连的L型连接杆；

所述清洁液装置包括化学清洁液组件和清水清洁液组件；

所述废液收集装置设于真空室外部，顶部通过管道与真空室底部相连；所述干燥装置设于真空室顶部内侧。

进一步地，所述清洁刷板的截面为弧形，包括弧形固定部以及均设于所述弧形固定部上的清洗部和擦拭部；所述清洗部设于所述弧形固定部靠近运转方向一侧，所述擦拭部设于所述弧形固定部远离运转方向一侧。

进一步地，所述清洗部为马毛刷、腈纶刷、涤纶刷、丙纶刷或尼龙刷结构。

进一步地，所述擦拭部为海绵刷或棉布刷结构。

进一步地，所述擦拭部相邻的侧边上还设有刮条结构，所述刮条结构为橡胶或硅胶材质。

进一步地，所述L型连接杆设于所述清洁刷板上一端为伸缩杆结构。

进一步地，所述化学清洁液组件包括设于真空室外部的化学清洁液收集罐、化学清洁液输送管道、设于所述化学清洁液输送管道上的化学清洁液控制阀和设于真空室顶部内侧的化学清洗液喷头。

进一步地，所述清水清洁液组件包括设于真空室外部的清水清洁液收集桶、清水清洁液输送管道、设于所述清水清洁液输送管道上的清水清洁液控制阀和设于真空室顶部内侧的清水清洗液喷头。

进一步地，所述废液收集装置包括顶部的废液存储部和底部的废液排出部，所述废液存储部和废液排出部之间设有废液处理装置。

进一步地，所述干燥装置为真空干燥器。

本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型的清洁系统包括清洁刷装置和清洁液装置，采用自动化的机械结构替代人工的清洁操作，可有效的提升清洁的速度、保证清洁的高效性。