[实用新型]一种镀膜设备传动系统有效

专利信息
申请号: 201821875291.9 申请日: 2018-11-14
公开(公告)号: CN209128535U 公开(公告)日: 2019-07-19
发明(设计)人: 何小锐;郑健 申请(专利权)人: 深圳市派恩新材料技术有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 王玮
地址: 518117 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 传动系统 传输结构 镀膜设备 设备本体 齿条 齿轮齿条组件 本实用新型 下传动机构 传动装置 啮合 齿轮结构 生产效率 安装轴 出料口 进料口 体内 节约 生产
【说明书】:

本实用新型公开了一种镀膜设备传动系统,包括设备本体和传动装置,所述传动装置设于设备本体内,包括上传动机构和下传动机构;所述上传动机构和下传动机构均包括设于同一高度安装轴上的齿轮齿条组件,所述齿轮齿条组件包括齿轮结构和与之相啮合的齿条传输结构,且所述齿条传输结构的长度为所述设备本体的1.5‑2.5倍;所述设备本体与所述齿条传输结构相对应的位置上设有进料口和出料口。本实用新型提供了一种镀膜设备传动系统,不仅可有效的节约生产工时,提高整体的生产效率,而且还可同时满足不同产品的生产。

技术领域

本实用新型属于镀膜设备技术领域,具体涉及一种镀膜设备传动系统。

背景技术

真空镀膜设备,主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体有很多种类,包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等很多种。其中,最主要思路是分成蒸发和溅射两种。镀膜过程主要包括:产品安装、抽真空、靶材发散和靶材沉积。

在现有的技术中,镀膜设备的传动系统大多只用于设备内部的传动和运输,以满足镀膜设备内部的真空度要求,因此,镀膜设备尺寸和体积的选择对产品的生产量和生产效率形成决定性的影响。且现有技术中的镀膜设备,单一型号的镀膜设备往往只能对结构单一或相近的产品进行镀膜的操作,无法满足生产产品多元化的需求,对于需求量小,无需进行大量生产的产品而言,制备专门的镀膜设备无疑是一种巨大的消耗和浪费。

发明内容

为了解决所述现有技术的不足,本实用新型提供了一种镀膜设备传动系统,不仅可有效的节约生产工时,提高整体的生产效率,而且还可同时满足不同产品的生产。

本实用新型所要达到的技术效果通过以下方案实现:

本实用新型提供的镀膜设备传动系统,包括设备本体和传动装置,所述传动装置设于设备本体内,包括上传动机构和下传动机构;所述上传动机构和下传动机构均包括设于同一高度安装轴上的齿轮齿条组件,所述齿轮齿条组件包括齿轮结构和与之相啮合的齿条传输结构,且所述齿条传输结构的长度为所述设备本体的1.5-2.5倍;

所述设备本体与所述齿条传输结构相对应的位置上设有进料口和出料口。

进一步地,所述齿轮齿条组件设于同一高度安装轴上的数量为2-4个。

进一步地,所述齿轮齿条组件在竖直方向上一一对应。

进一步地,所述齿条传输结构的首端和末端设有止动结构,所述止动结构为高度大于所述齿条传输结构轮齿高度的斜楔结构。

进一步地,所述齿轮结构与同一所述齿条传输结构相啮合的数量为2-6个。

进一步地,所述齿轮结构的宽度为所述齿条传输结构宽度的1/4-1/2。

进一步地,所述安装轴一端连有电机,所述电机为双向驱动电机。

进一步地,所述进料口和出料口上铰接设有合页门。

进一步地,所述设备本体对应每一所述齿条传输结构的下方设有润滑剂喷涂装置。

进一步地,所述设备本体内部还设有除湿装置和除尘装置,所述除湿装置和除尘装置相邻设置,数量均为2-4个。

本实用新型具有以下优点:

本实用新型提供了一种镀膜设备传动系统,可在进行镀膜操作的同时,进行上料或下料操作,节约了生产工时,有效的提高了整体的生产效率。

附图说明

图1为本实用新型中镀膜设备传动系统的剖面结构示意图;

图2为本实用新型中镀膜设备传动系统的另一剖面结构示意图。

附图标记说明如下:

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