[实用新型]一种晶体自动检验设备有效

专利信息
申请号: 201821874726.8 申请日: 2018-11-14
公开(公告)号: CN209512910U 公开(公告)日: 2019-10-18
发明(设计)人: 刘效斐 申请(专利权)人: 内蒙古中环领先半导体材料有限公司
主分类号: G01D21/02 分类号: G01D21/02;B07C5/38
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 长度检测装置 少子寿命检测 直径检测装置 自动检验设备 搬运机械手 本实用新型 晶体电阻率 测试平台 检测装置 晶体托架 半导体制造领域 测试准确度 测试 不确定性 测量晶体 测试设备 测试位置 测试误差 人工成本 少子寿命 依次设置 影响因素 出错率 电阻率 有效地 自动化 采集 节约
【权利要求书】:

1.晶体自动检验设备,其特征在于:包括晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置、晶体托架和搬运机械手,所述晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置依次设置在测试平台上;

所述搬运机械手放置在所述晶体托架和测试平台之间;

所述晶体长度检测装置包括第一滑动组件、支撑底板、托辊平台、长度检测对射支架和激光测距传感器,所述支撑底板与所述测试平台固定连接,所述第一滑动组件与测试平台固定连接;所述托辊平台设置在所述支撑底板上,所述长度检测对射支架通过滑块与第一滑动组件滑动连接,所述长度检测对射支架与所述激光测距传感器连接;

所述晶体直径检测装置包括第一旋转平台、直径扫描架、直径传感器、第二滑动组件,所述第一旋转平台与所述测试平台固定连接,所述第二滑动组件与测试平台固定连接,所述直径扫描架设置在所述旋转平台上方,多个所述直径传感器设置在所述直径扫描架上,所述直径扫描架与所述第二滑动组件滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶体自动检验设备,其特征在于所述电阻率检测装置包括第二旋转平台、测电阻率探针、第三滑动组件,所述第二旋转平台与所述测试平台固定连接,所述第三滑动组件与测试平台固定连接,所述测电阻率探针设置在所述第三滑动组件上。

3.根据权利要求1或2所述的晶体自动检验设备,其特征在于所述晶体少子寿命检测装置包括双头泵和少子寿命平台,所述双头泵设置在所述少子寿命平台上,所述双头泵通过点水管连接气缸。

4.根据权利要求3所述的晶体自动检验设备,其特征在于还包括电脑,所述晶体长度检测装置、所述晶体直径检测装置、所晶体电阻率检测装置、所述晶体少子寿命检测装置均与所述电脑连接。

5.根据权利要求1、2或4所述的晶体自动检验设备,其特征在于所述晶体托架包括待测晶体托架、不合格晶体托架和合格晶体托架,所述待测晶体托架、所述不合格晶体托架和所述合格晶体托架相邻设置。

6.根据权利要求5所述的晶体自动检验设备,其特征在于所述晶体托架包括基础架和W型取放料结构,所述W型取放料结构设置在基础架上。

7.根据权利要求1、2或4所述的晶体自动检验设备,其特征在于所述托辊平台下设置滑道,所述支撑底板设置与所述滑道相匹配的条状凸起。

8.根据权利要求7所述的晶体自动检验设备,其特征在于所述支撑底板上设置多个安装孔。

9.根据权利要求2所述的晶体自动检验设备,其特征在于所述第一旋转平台和所述第二旋转平台上面安装绝缘塑料垫板。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古中环领先半导体材料有限公司,未经内蒙古中环领先半导体材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821874726.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top