[实用新型]一种晶体自动检验设备有效
| 申请号: | 201821874726.8 | 申请日: | 2018-11-14 |
| 公开(公告)号: | CN209512910U | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
| 发明(设计)人: | 刘效斐 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;B07C5/38 |
| 代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
| 地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 长度检测装置 少子寿命检测 直径检测装置 自动检验设备 搬运机械手 本实用新型 晶体电阻率 测试平台 检测装置 晶体托架 半导体制造领域 测试准确度 测试 不确定性 测量晶体 测试设备 测试位置 测试误差 人工成本 少子寿命 依次设置 影响因素 出错率 电阻率 有效地 自动化 采集 节约 | ||
1.晶体自动检验设备,其特征在于:包括晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置、晶体托架和搬运机械手,所述晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置依次设置在测试平台上;
所述搬运机械手放置在所述晶体托架和测试平台之间;
所述晶体长度检测装置包括第一滑动组件、支撑底板、托辊平台、长度检测对射支架和激光测距传感器,所述支撑底板与所述测试平台固定连接,所述第一滑动组件与测试平台固定连接;所述托辊平台设置在所述支撑底板上,所述长度检测对射支架通过滑块与第一滑动组件滑动连接,所述长度检测对射支架与所述激光测距传感器连接;
所述晶体直径检测装置包括第一旋转平台、直径扫描架、直径传感器、第二滑动组件,所述第一旋转平台与所述测试平台固定连接,所述第二滑动组件与测试平台固定连接,所述直径扫描架设置在所述旋转平台上方,多个所述直径传感器设置在所述直径扫描架上,所述直径扫描架与所述第二滑动组件滑动连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶体自动检验设备,其特征在于所述电阻率检测装置包括第二旋转平台、测电阻率探针、第三滑动组件,所述第二旋转平台与所述测试平台固定连接,所述第三滑动组件与测试平台固定连接,所述测电阻率探针设置在所述第三滑动组件上。
3.根据权利要求1或2所述的晶体自动检验设备,其特征在于所述晶体少子寿命检测装置包括双头泵和少子寿命平台,所述双头泵设置在所述少子寿命平台上,所述双头泵通过点水管连接气缸。
4.根据权利要求3所述的晶体自动检验设备,其特征在于还包括电脑,所述晶体长度检测装置、所述晶体直径检测装置、所晶体电阻率检测装置、所述晶体少子寿命检测装置均与所述电脑连接。
5.根据权利要求1、2或4所述的晶体自动检验设备,其特征在于所述晶体托架包括待测晶体托架、不合格晶体托架和合格晶体托架,所述待测晶体托架、所述不合格晶体托架和所述合格晶体托架相邻设置。
6.根据权利要求5所述的晶体自动检验设备,其特征在于所述晶体托架包括基础架和W型取放料结构,所述W型取放料结构设置在基础架上。
7.根据权利要求1、2或4所述的晶体自动检验设备,其特征在于所述托辊平台下设置滑道,所述支撑底板设置与所述滑道相匹配的条状凸起。
8.根据权利要求7所述的晶体自动检验设备,其特征在于所述支撑底板上设置多个安装孔。
9.根据权利要求2所述的晶体自动检验设备,其特征在于所述第一旋转平台和所述第二旋转平台上面安装绝缘塑料垫板。
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