[实用新型]化学品槽车派车系统

说明书

本实用新型提出一种化学品槽车派车系统，其架构主要包括多个第一传感器与一派车控制装置。其中，所述多个第一传感器分别设置于多个化学品容置槽之内，用以进行液面准位的感测。并且，当任一个第一传感器所发出的一液面准位讯号显示化学品容置槽内的化学液体的液面已达准预定义的一派车液面准位，所述控制模块即发出一派车通知。特别的是，所述派车控制装置具有多种警示模块与一计时模块，用于限制化学品槽车的化学品填充作业必须在规定的时限之内完成。

技术领域

本实用新型是关于半导体制程的技术领域，尤指一种化学品槽车派车系统，用于协助集成电路制造厂(IC foundry)根据化学品储存槽的容量状况而实时性地调配化学品槽车入厂。

背景技术

半导体集成电路的制程包括薄膜沈积、扩散、微影蚀刻、离子植入等基本半导体制程；并且，在制作半导体集成电路的过程中，必须使用到大量的化学品来满足制程的需求。特别说明的是，半导体集成电路的制造必须时时刻刻保持生产流程不中断，因此，这些化学品的供应也必须被维持不中断。基于这样的理由，集成电路制造厂在进行厂区规划时，便会特别地规画至少一特定化学槽区，以作为设置各种大型化学品容置槽(或称储存槽)使用。

图1为显示一组化学品容置槽与一辆化学品槽车的侧视图。目前，化学品供货商是利用大型化学品槽车(Chemical tank truck或chemical tank lorry)1’装载完成制作的各种化学品。值得特别说明的是，集成电路制造厂于进行各类化学品的补充的时候，是通知化学品供货商调配其化学品槽车1’直接驶至集成电路制造厂之中的指定化学槽区，进而直接地将化学品补充至位于化学槽区内的指定的化学品容置槽2’，完成化学品的补充作业。

然而，根据集成电路制造厂所提供的实务操作经验可以得知，目前集成电路制造厂在通知化学品供货商调配其化学品槽车1’执行化学品补充的过程中是显示出诸多实务面的缺陷。特别是，通常化学槽区的厂务人员发现特定的化学品容置槽2’之中的化学液体的液面已经过低(业界惯称“桶槽切边”)之后，才会通知化学品槽车1’入厂进行化学品补充作业。然而，厂务人员忽略的是，半导体集成电路的制造是时时刻刻保持生产流程不中断的；简单地说，在化学品槽车1’被通知入厂并接着完成化学品补充作业之前的这段时间内，化学品容置槽2’之中的化学液体还是会因为制程需求而不断地被抽取使用。可想而知，一旦化学品容置槽2’之中的化学液体用尽了，则有可能导致半导体集成电路的制程错误。类似这种的制程错误势必导致集成电路制造厂与其客户的重大损失。

由上述说明可知，配合化学品容置槽的实时性的化学品储存状况作出适当的化学品槽车的调配作业，这对于集成电路制造厂而言是亟迫切的。有鉴于此，本案实用新型的创作人极力加以研究创作，而终于研发完成本实用新型的一种化学品槽车派车系统。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种化学品槽车派车系统，其架构主要包括多个第一传感器与一派车控制装置。其中，所述多个第一传感器分别设置于多个化学品容置槽之内，用以进行液面准位的感测。并且，当任一个第一传感器所发出的一液面准位讯号显示化学品容置槽内的化学液体的液面已达准预定义的一派车液面准位，所述控制模块即发出一派车通知。特别的是，所述派车控制装置具有多种警示模块与一计时模块，用于限制化学品槽车的化学品填充作业必须在规定的时限之内完成。更重要的是，本实用新型的化学品槽车派车系统可与一原物料库存与使用管理的监控系统联用，或整合至所述原物料库存与使用管理的监控系统之中。如此，使用本实用新型的化学品槽车派车系统集成电路制造厂，便可以通过全电子化的方式严格控管化学品槽车的入厂、化学品填充、与出厂，藉此方式避免半导体集成电路的制造因化学品短缺而导致制程错误。

为了达成上述本实用新型的主要目的，本实用新型的创作人是提供所述化学品槽车派车系统的一实施例，包括：

多个第一传感器，分别设置于多组化学品容置槽之中，且所述多组化学品容置槽皆容置有一化学液体；以及

至少一派车控制装置，包括：