[实用新型]Best激光除杂器双氮气控制装置

权利要求书

1.一种Best激光除杂器双氮气控制装置，其特征在于：包括第一氮气瓶(1)、第二氮气瓶(2)，所述第一氮气瓶(1)、第二氮气瓶(2)为耐高压气体容器，用以盛装高压氮气；所述第一氮气瓶(1)通过管路依次连接第一减压阀(10)、第一手阀(12)、第一缓冲管(13)、第一压力表(14)以及第二手阀(15)形成第一支路；所述第二氮气瓶(2)通过管路依次连接第二减压阀(20)、第三手阀(22)、第二缓冲管(23)、第二压力表(24)以及第四手阀(25)形成第二支路，所述第一手阀(12)用以检测第一支路是否存在泄压情况，同时防止空气或水汽进入管路系统；所述第三手阀(22)用以检测第二支路是否存在泄压情况，同时防止空气或水汽进入管路系统；所述第二手阀(15)用以控制第一支路的氮气供应，所述第四手阀(25)用以控制第二支路的氮气供应；所述第一支路和第二支路汇总后通过第一分配阀(3)、第二分配阀(4)、第三分配阀(5)以及第四分配阀(6)进行氮气输出控制；所述第一分配阀(3)、第二分配阀(4)、第三分配阀(5)连接三路氮气输出管道(7)，所述第四分配阀(6)连接抽真空管道(8)用以整个氮气管路抽真空。

2.根据权利要求1所述的Best激光除杂器双氮气控制装置，其特征在于：所述第一减压阀(10)上连接第一安全阀(11)用以确保第一支路的安全。

3.根据权利要求1所述的Best激光除杂器双氮气控制装置，其特征在于：所述第二减压阀(20)上连接第二安全阀(21)用以确保第二支路的安全。

4.根据权利要求1所述的Best激光除杂器双氮气控制装置，其特征在于：所述第一缓冲管(13)和第二缓冲管(23)为Φ10螺旋状的紫铜盘管，用于缓冲减压后氮气对后续管路带来的冲击。

5.根据权利要求1所述的Best激光除杂器双氮气控制装置，其特征在于：所述管路为不锈钢管，用以输送氮气。