[实用新型]一种磨头机构及应用该磨头机构的扩散片磨抛装置

权利要求书

1.一种磨头机构，包括顶杆(1)及磨盘(2)，其特征在于，还包括：

调节件(3)，所述调节件(3)设置于所述顶杆(1)的一端上；

润滑件(4)，所述润滑件(4)设置于所述磨盘(2)上，所述调节件(3)的一端设置于所述润滑件(4)内,且磨削加工时,所述磨盘(2)连同润滑件(4)相对调节件(3)摆动；以及

连接件(5)，所述连接件(5)滑动套设于所述顶杆(1)上，且该连接件(5)的一端与所述磨盘(2)可拆卸连接设置。

2.根据权利要求1所述的一种磨头机构，其特征在于，所述调节件(3)与所述润滑件(4)的接触端为球形状设置。

3.根据权利要求1所述的一种磨头机构，其特征在于，所述磨盘(2)上设置有轴承限位台(21)，所述润滑件(4)安装于该轴承限位台(21)内，该润滑件(4)为圆锥轴承(41)设置，所述调节件(3)的球形状端插设于圆锥轴承(41)的内圈中，调节件(3)的球形状端与圆锥轴承(41)的内圈之间形成球形面调整区域(30)。

4.根据权利要求3所述的一种磨头机构，其特征在于，所述连接件(5)为下端部敞口的套管结构，其下端部与所述轴承限位台(21)可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的一种磨头机构，其特征在于，所述连接件(5)的顶部开设有与其内部贯通且与所述顶杆(1)的外形相适配的导向孔(51)，顶杆(1)上凸设有限位台(11)，该限位台(11)位于调节件(3)的上方且其外形尺寸大于所述导向孔(51)的外形尺寸，当顶杆(1)抬起时，所述连接件(5)的顶部与所述限位台(11)接触设置。

6.根据权利要求3所述的一种磨头机构，其特征在于，所述调节件(3)的球形状端的顶点到球形状端的底面之间的距离L1与球形状端的顶点到圆锥轴承(41)的上端面之间的距离L2之间的关系满足，L1＞L2。

7.根据权利要求3所述的一种磨头机构，其特征在于，所述轴承限位台(21)、调节件(3)与磨盘(2)三者之间为同轴设置。

8.根据权利要求5所述的一种磨头机构，其特征在于，所述限位台(11)与连接件(5)的顶部之间还设置有垫片(32)。

9.一种扩散片磨抛装置，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的一种磨头机构，还包括转动设置的旋转台(6)、设置于所述旋转台(6)一侧的摆动驱动组件(8)及设置于所述摆动驱动组件(8)上的抬升摆动杆(7)，所述顶杆(1)连接设置于所述抬升摆动杆(7)上，并由摆动驱动组件(8)驱动下带动抬升摆动杆(7)同步带动磨盘(2)进行旋转台(6)上的扩散片(10)的磨抛。