[实用新型]干式90度转向分片装置有效
| 申请号: | 201821856033.6 | 申请日: | 2018-11-12 |
| 公开(公告)号: | CN209016082U | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
| 发明(设计)人: | 王相军;胡宏峰 | 申请(专利权)人: | 上海釜川自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 李丽君 |
| 地址: | 200000 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 干式 本实用新型 传送机构 吹气系统 分片装置 送料机构 吸气系统 硅片 支架 垂直设置 硅片处理 输送皮带 真空负压 原有的 产能 制绒 局限 风力 | ||
本实用新型公开了一种干式90度转向分片装置,包括机架,所述机架上设有水平的送料机构,所述送料机构的一侧设有垂直设置的传送机构,所述传送机构的上方设有90度转向机构,所述传送机构与90度转向机构之间设有吹气系统,所述90度转向机构的两侧均设有吸气系统,所述90度转向机构通过支架倾斜的固定在机架上,所述支架的夹角呈度。本实用新型通过改变现有干式分片的方式,通过吹气系统的风力将硅片吹开,再通过真空负压的吸气系统和带弧度的输送皮带实现快速分片,将原有的干式分片方式下分离硅片3600片/时,提高至6500~8000片/时,不但提高了效率和产能,且不仅局限于制绒,还可以在很多工艺上运用本实用新型的硅片处理方式。
技术领域
本实用新型涉及一种硅片分片装置,具体涉及一种干式的硅片分片装置属于光伏设备领域。
背景技术
在太阳能硅片的生产过程中,有很多工艺环节需要对硅片进行分片然后插片。
为了不让干的硅片(后面简称干片)表面有划痕和磨痕,干片的分片通常都采用吸盘来吸,但是效率低,设备造价成本高,不利于实现上下料自动化。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种成本低,分片时不伤害硅片的情况下,提高产能且实现自动上下料的干式硅片分片装置。
为了达到上述技术目的,本实用新型的技术方案是提供了一种干式90度转向分片装置,包括机架,所述机架上设有水平的送料机构,所述送料机构的一侧设有垂直设置的传送机构,所述传送机构的上方设有90度转向机构,所述传送机构与90度转向机构之间设有吹气系统,所述90度转向机构的两侧均设有吸气系统,所述90度转向机构通过支架倾斜的固定在机架上,所述支架的夹角呈40度。
优选地,所述90度转向机构包括设置在传送机构上方的从动轴和与电机连接的主动轴,所述主动轴和从动轴通过环形的输送皮带相连,所述主动轴和从动轴之间设有弧形的仿形板,所述仿形板上设有多个吸孔,所述输送皮带通过弧形的仿形板将硅片吸附在输送皮带上实现由前向后弧形输送。
优选地,所述送料机构包括料托,所述料托通过滑板设置在滑台上,并通过步进电机将硅片逐一送至传送机构上。
优选地,所述90度转向机构的后端与输送机构相接,分片后的硅片吸附在弧形输送皮带上并向后输送至水平的输送机构上。
优选地,所述输送机构的一侧设有固定在机架上的传感器,用于计算输送的硅片数量。
优选地,所述传送机构的一侧设有固定在机架上的传感器,用于计算传送的硅片数量。
本实用新型通过改变现有干式分片的方式,通过吹气系统的风力将硅片吹开,再通过真空负压的吸气系统和带弧度的输送皮带实现快速分片,将原有的干式分片方式下分离硅片3600片/时,提高至6500~8000片/时,不但提高了效率和产能,且在不伤害硅片的情况下分离硅片,产品合格率高。本实用新型不仅局限于制绒,还可以在很多工艺上运用本实用新型的硅片处理方式。
附图说明
图1为本实用新型提供的一种干式90度转向分片装置的结构示意图。
图中序号如下:
1-机架;2-送料机构;3-吹气系统;4-硅片;5-吸气系统;6-90度转向机构;7-输送机构;8-输送带。
具体实施方式
为使本实用新型更明显易懂,兹以优选实施例,并配合附图作详细说明如下。
如图1所示,为本实用新型提供的一种干式90度转向分片装置包括送料机构2、吹气系统3、吸气系统5、90度转向机构6、输送机构7、机架1;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





