[实用新型]连续式多工位抛光机真空管路自清洗控制系统

说明书

连续式多工位抛光机真空管路自清洗控制系统，包括真空储气罐、气动三通球阀Ⅰ、气压力传感器Ⅰ、气动三通球阀Ⅱ、气动三通球阀Ⅲ、抛光盘Ⅰ、抛光盘Ⅱ和可编程控制器；真空储气罐与气动三通球阀Ⅰ、气压力传感器Ⅰ相连，气动三通球阀Ⅱ、气动三通球阀Ⅲ设在与真空储气罐相连的总真空管路上，总真空管路分别通过设有气动三通球阀Ⅳ和气压力传感器Ⅱ的真空管路Ⅰ与抛光盘Ⅰ相连、通过设有气动三通球阀Ⅴ和气压力传感器Ⅲ的真空管路Ⅱ与抛光盘Ⅱ相连；可编程控制器通过电磁阀Ⅰ与气动三通球阀Ⅲ相连、通过电磁阀Ⅱ与气动三通球阀Ⅱ相连。利用本实用新型，可判断每个工位的真空管路是否堵塞，以及实现自动清洗真空管路，有利于多工位抛光机的发展。

技术领域

本实用新型涉及一种连续式多工位抛光机，具体涉及一种连续式多工位抛光机真空管路自清洗控制系统。

背景技术

目前的抛光吸附都是通过真空泵抽气，使产品与载盘之间产生负压，在抛光过程中抛光液通过真空管路，长时间使用容易造成管路堵塞，一旦管路堵塞，需及时清理或者更换，这样，不仅造成材料浪费，而且操作也相当麻烦。尤其是，多工位抛光机的发展趋势使得真空管路越来越复杂，给排查管路堵塞位置带来了一定的困难。

目前，对于连续式多工位抛光机复杂的真空管路，还未见有关监测真空管路堵塞位置，并能自动清洗真空管路的控制系统的研究和报道。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种能监测真空管路的堵塞位置，报警并停机自动清洗的连续式多工位抛光机真空管路自清洗控制系统。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：连续式多工位抛光机真空管路自清洗控制系统，包括真空储气罐、气动三通球阀Ⅰ、气压力传感器Ⅰ、气动三通球阀Ⅱ、气动三通球阀Ⅲ、抛光盘Ⅰ、抛光盘Ⅱ和可编程控制器；

所述真空储气罐分别与气动三通球阀Ⅰ、气压力传感器Ⅰ相连，所述气动三通球阀Ⅱ、气动三通球阀Ⅲ设在与真空储气罐相连的总真空管路上，所述总真空管路分别通过设有气动三通球阀Ⅳ和气压力传感器Ⅱ的真空管路Ⅰ与抛光盘Ⅰ相连、通过设有气动三通球阀Ⅴ和气压力传感器Ⅲ的真空管路Ⅱ与抛光盘Ⅱ相连；所述气动三通球阀Ⅰ通过电磁阀与可编程控制器相连接；

所述可编程控制器分别与气压力传感器Ⅰ、气压力传感器Ⅱ、气压力传感器Ⅲ相连接；

所述可编程控制器通过电磁阀Ⅰ与气动三通球阀Ⅲ相连，所述电磁阀Ⅰ可控制气动三通球阀Ⅲ，使总真空管路切换到和清洗水源接口接通；

所述可编程控制器通过电磁阀Ⅱ与气动三通球阀Ⅱ相连接，所述电磁阀Ⅱ可控制气动三通球阀Ⅱ，使总真空管路切换到和压缩空气接口接通

所述可编程控制器通过电磁阀Ⅲ与气动三通球阀Ⅳ相连，所述电磁阀Ⅲ可控制气动三通球阀Ⅳ，使真空管路Ⅰ接通；

所述可编程控制器通过电磁阀Ⅳ与气动三通球阀Ⅴ相连接，所述电磁阀Ⅳ可控制气动三通球阀Ⅴ，使真空管路Ⅱ接通。

进一步，还设有抛光盘Ⅲ，所述总真空管路通过设有气动三通球阀Ⅵ和气压力传感器Ⅳ的真空管路Ⅲ与抛光盘Ⅲ相连，所述可编程控制器与气压力传感器Ⅳ与相连；所述可编程控制器通过电磁阀Ⅴ与气动三通球阀Ⅵ相连，所述电磁阀Ⅴ可控制气动三通球阀Ⅵ，使真空管路Ⅲ接通。

进一步，还设有抛光盘Ⅳ，所述总真空管路通过设有气动三通球阀Ⅶ和气压力传感器Ⅴ的真空管路Ⅳ与抛光盘Ⅳ相连，所述可编程控制器与气压力传感器Ⅴ相连；所述可编程控制器通过电磁阀Ⅵ与气动三通球阀Ⅶ相连接，所述电磁阀Ⅵ可控制气动三通球阀Ⅶ，使真空管路Ⅳ接通。

进一步，还设有气动二通球阀，所述真空储气罐的底部通过管路与气动二通球阀相连，所述气动二通球阀与可编程控制器相连接。

进一步，所述真空储气罐的顶部通过管路分别与气动三通球阀Ⅰ、气压力传感器Ⅰ相连。