[实用新型]一种真空炉供料机构

权利要求书

1.一种真空炉供料机构，包括外部的壳体，壳体上设有通孔并通过法兰连接至外接机构，壳体内为真空腔体，其特征在于：

所述壳体的真空腔内固定安装有由外设控制器控制的置换腔组件、机械手和输送带，其中输送带有壳体上的通孔导出，机械手位于输送带的上方设置，置换腔组件固定安装于壳体的侧壁上，其内端位于输送带一侧、外端位于壳体外。

2.根据权利要求1所述的一种真空炉供料机构，其特征在于：

所述置换腔组件包括固定安装于壳体上的置换盒，置换盒上铰接安装有可以密封的外门、内侧壁上固定安装有延伸至壳体的真空腔内的滑轨，滑轨上滑动安装有载料盘、对应的真空腔内固定安装有送料电缸，送料电缸的活动端连接于载料盘上以驱动载料盘在滑轨上滑动。

3.根据权利要求2所述的一种真空炉供料机构，其特征在于：

所述可以密封的外门通过磁力锁锁定于置换盒上，置换盒及滑轨还通过支撑架固定安装于壳体的真空腔内。

4.根据权利要求2所述的一种真空炉供料机构，其特征在于：

所述载料盘为盘形结构，载料盘上设置有若干均匀排布的载料槽。

5.根据权利要求1所述的一种真空炉供料机构，其特征在于：

所述机械手组件包括两个固定安装于壳体内的X向导轨，两个X向导轨上滑动安装有一个Y向导轨，X向导轨上固定安装有X向电缸，Y向导轨上固定安装有Y向电缸、滑动安装有Z向电缸，其中X向电缸的活动端固定连接于Y向电缸或Y向导轨上、Y向电缸的活动端固定连接于Z向电缸上、Z向电缸的活动端固定安装有夹具组件，夹具组件位于输送带的上方设置。

6.根据权利要求5所述的一种真空炉供料机构，其特征在于：

所述夹具组件包括固定安装于固定安装于Z向电缸活动端的电动夹爪和光纤传感器，光纤传感器指向输送带方向。

7.根据权利要求1所述的一种真空炉供料机构，其特征在于：

所述输送带由壳体的真空腔内指向壳体的通孔外。