[实用新型]一种喷淋式蚀刻设备新型加热设备

权利要求书

1.一种喷淋式蚀刻设备新型加热设备，其特征在于，包括：

酸性供给机构；

缓冲罐，所述缓冲罐与所述酸性供给机构相互连通；所述缓冲罐的中心处开有孔槽结构，且所述缓冲罐的外壁分布有冷却管和加热管；所述冷却管、所述加热管之间相互独立设置；所述缓冲罐的内壁安装有电热管；

冷却机组，所述冷却机组连通有冷水排水管和冷水回水管，且所述冷水排水管、所述冷水回水管均与所述冷却管相互连通；

加热水箱，所述加热水箱连通有热水排水管和热水回水管，且所述热水排水管、所述热水回水管均与所述加热管相互连通；

加热储液罐，所述加热储液罐与所述缓冲罐相互连通。

2.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻设备新型加热设备，其特征在于，所述酸性供给机构包括第一酸性储存罐和第二酸性储存罐，所述第一酸性储存罐单向连通至所述缓冲罐，所述第二酸性储存罐单向连通至所述加热储液罐。

3.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻设备新型加热设备，其特征在于，所述加热储液罐双向连通加工工位，且所述加热储液罐与所述缓冲罐单向连通。

4.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻设备新型加热设备，其特征在于，所述缓冲罐与所述冷却机组双向连接为循环流通结构，且所述缓冲罐与所述加热水箱双向连接为循环流通结构。

5.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻设备新型加热设备，其特征在于，所述电热管为盘管结构，且所述电热管的分布高度与所述缓冲罐的孔槽深度相同。

6.根据权利要求1所述的喷淋式蚀刻设备新型加热设备，其特征在于，所述冷却管、所述加热管的内部均为栅格结构，且所述冷却管与所述加热管的形状尺寸均相同；所述冷却管、所述加热管分别位于所述缓冲罐的单独侧面处。