[实用新型]一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘有效
| 申请号： | 201821837380.4 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN209425922U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 王志勇;刘瑞鹏;张浩强;杨红涛;柳志强;焦鹏;刘建强;张少星;崔朝坤 | 申请（专利权）人： | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 曹鹏飞 |
| 地址： | 054000 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷却盘 孔眼 单晶硅 切方 本实用新型 冷却液 单晶 方盘 主泵 悬浮液混合 单晶硅棒 保护膜 冲刷 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，设置于冷却液主泵(6)的底部，其特征在于，包括：方盘(1)，所述方盘(1)上设置有20-30个直径为8-12mm的主孔眼(2)，且每个所述主孔眼(2)的周围均匀分布有8-10个直径为4-7mm的辅助孔眼(3)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，其特征在于，所述主孔眼(2)的数量为25个，直径为10mm。
3.根据权利要求1或2所述的一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，其特征在于，每个所述主孔眼(2)周围的所述辅助孔眼(3)的数量为8个，直径为6mm。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，其特征在于，所述方盘(1)的边长尺寸为1.0-1.5m。
5.根据权利要求4所述的一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，其特征在于，所述方盘(1)采用不锈钢材质制成。
6.根据权利要求5所述的一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，其特征在于，所述方盘(1)内部还设置有加强肋(4)，且所述加强肋(4)上设置有多个通孔(5)。
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