[实用新型]真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201821835472.9 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN209555362U | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王昆 | 申请（专利权）人： | 天津富可达塑胶制品加工有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 300354 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 待加工件 真空镀膜设备 真空舱 夹具 本实用新型 抽真空装置 加热装置 真空镀膜 相对设置 滑动 加工件 载物台 喷涂 | ||
1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：抽真空装置、真空舱、载物台、待加工件以及加热装置；
所述待加工件位于所述载物台上，所述载物台和加热装置均位于真空舱内且相对设置，所述抽真空装置与所述真空舱内部相连通；
所述载物台上设置有用于固定所述待加工件的夹具，所述夹具能够沿所述载物台滑动并固定所述待加工件。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述抽真空装置采用真空泵。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，包括多个所述夹具；
所述载物台上设置有平行的多个滑道，多个所述夹具分别位于多个所述滑道上并能够沿多个所述滑道移动至适当位置以固定所述待加工件。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，包括多个所述夹具；
所述载物台的中心交叉设置有多个滑道，多个所述夹具分别位于的多个所述滑道上并能够沿多个所述滑道移动至适当位置以固定所述待加工件。
5.根据权利要求3或4所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述夹具包括固定件和压制件；
所述固定件滑动连接于所述滑道上，所述压制件能够在所述固定件内移动并能够将所述待加工件固定在所述压制件和所述固定件之间。
6.根据权利要求5所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述压制件采用螺杆，所述固定件采用C型件；
所述螺杆与所述C型件螺纹连接；
所述螺杆能够相对于所述C型件旋入或旋出并将所述待加工件固定在所述C型件的内面和所述螺杆底面之间。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述螺杆的底面铺设有防滑层。
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