[实用新型]一种晶棒性能连续测试架

说明书

本实用新型公开了一种晶棒性能连续测试架，包括架体、测试装置、转盘和固定座，所述架体底部的四个拐角处均安装有可调机脚，且架体的顶端固定有工作台，所述工作台顶部的一端固定有支撑柱，且支撑柱一侧的底端设置有控制面板，所述支撑柱的一端固定有横杆，且横杆远离支撑柱的一端通过铰接轴铰接有环箍，所述环箍的内部套设有测试装置，且测试装置的底端安装有检测头，所述固定座上均设置有红外线接收器。本实用新型通过安装有伺服电机、转盘、测试装置以及检测头，在转盘上均匀设置有固定座，使得便于伺服电机带动转盘旋转，将固定座旋转到检测头的下方进行检测，实现多工位检测，实现连续测试。

技术领域

本实用新型涉及晶棒测试技术领域，具体为一种晶棒性能连续测试架。

背景技术

单晶硅是硅的单晶体，具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，晶棒是指整个的单晶硅，因为单晶硅棒的制作是用直拉法区熔法制作完成的，其成品均为棒状，故称为晶棒，目前为了方便硅材料的切割和加工，需要先对晶棒进行电阻率分布情况的检测。

传统的晶棒性能测试需要人工手动使用检测仪来进行检测，费时费力，劳动强度较大，而现阶段的部分测试装置结构简单，功能单一，测试装置的空间较小，一次只能对一个晶棒进行测试，同时也无法固定限位不同规格大小的晶棒，无法满足不同的测试需求，同时现有的测试探头无法自由调节高度角度，不便于对晶棒的不同位置进行检测，测试不够全面，此外，检测头也无法便捷拆卸更换，因此急需一种晶棒性能连续测试架来满足人们的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶棒性能连续测试架，以解决上述背景技术中提出的传统的人工检测费时费力，现有的装置无法连续测试，无法固定限位不同规格的晶棒，探头无法调节以及检测头也无法便捷拆卸更换的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶棒性能连续测试架，包括架体、测试装置、转盘和固定座，所述架体底部的四个拐角处均安装有可调机脚，且架体的顶端固定有工作台，所述工作台顶部的一端固定有支撑柱，且支撑柱一侧的底端设置有控制面板，所述支撑柱的一端固定有横杆，且横杆远离支撑柱的一端通过铰接轴铰接有环箍，所述环箍的内部套设有测试装置，且测试装置的底端安装有检测头，所述检测头的一侧固定有红外线发射器，所述工作台顶部的另一端设置有转盘，且工作台的底端固定有伺服电机，所述伺服电机的输出端通过转轴与转盘连接，且转盘的顶端均匀固定有固定座，所述固定座上均设置有红外线接收器。

优选的，所述架体呈“H”型结构，且架体与工作台为焊接一体化结构。

优选的，所述支撑柱靠近横杆的一端设置有电磁滑轨，且横杆靠近支撑柱的一端设置有与电磁滑轨相互配合的滑块，所述横杆通过滑块与电磁滑轨构成滑动机构。

优选的，所述测试装置的底端设置有卡槽，所述检测头的顶端设置有与卡槽相互配合的卡块，且检测头与测试装置构成安装拆卸结构。

优选的，所述固定座顶部的两端均通过复位弹簧固定有夹板，且夹板关于固定座左右对称分布。

优选的，所述固定座的数量设置为四个，且相邻固定座之间的夹角均为九十度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)该晶棒性能连续测试架通过安装有伺服电机、转盘、测试装置以及检测头，在转盘上均匀设置有固定座，使得便于伺服电机带动转盘旋转，将固定座旋转到检测头的下方进行检测，实现多工位检测，实现连续测试，提高测试效率。

(2)该晶棒性能连续测试架通过安装卡块、卡槽以及检测头，使得便于通过卡块与卡槽的相互关系，将检测头螺入测试装置的卡槽内，便于检测头的固定安装与拆卸，便于根据不同的测试需求进行更换检测头，同时也便于在出现故障或损坏时进行检修维护。