[实用新型]一种喷油嘴微孔孔形检测系统

权利要求书

1.一种喷油嘴微孔孔形检测系统，其特征在于，该系统包括电子显微镜(1)、图像处理系统(2)、主控系统(3)和用于放置所述喷油嘴的旋转载物台(4)，

所述电子显微镜(1)、所述图像处理系统(2)和所述旋转载物台(4)分别连接所述主控系统(3)，所述电子显微镜(1)还与所述图像处理系统(2)连接，

所述电子显微镜(1)用于获得所述喷油嘴微孔的一次观测图像和二次观测图像，并将所述一次观测图像和所述二次观测图像输送至所述图像处理系统(2)，

所述图像处理系统(2)用于处理所述一次观测图像以获得一次观测图像中心位置坐标(X_a,Y_a)和喷油嘴微孔中心位置坐标(X_h,Y_h),并将所述一次观测图像中心位置坐标(X_a,Y_a)和所述喷油嘴微孔中心位置坐标(X_h,Y_h)传输至所述主控系统(3)，并且所述图像处理系统(2)还用于处理所述二次观测图像以判别所述喷油嘴微孔是否合格和所述喷油嘴微孔的变形区域位置，并将结果图像实时显示，

所述主控系统(3)用于控制所述电子显微镜(1)的移动使得所述喷油嘴微孔进入所述电子显微镜(1)的视野以便所述电子显微镜(1)获得所述喷油嘴微孔的一次观测图像，并根据所述一次观测图像中心位置坐标(X_a,Y_a)和所述喷油嘴微孔中心位置坐标(X_h,Y_h)二次定位所述电子显微镜(1)沿X和Z轴方向移动以将所述显微镜(1)视野中心位置调整至所述喷油嘴微孔中心以便所述显微镜(1)获得所述二次观测图像，并且所述主控系统(3)还用于控制所述旋转载物台(4)转动使得所述喷油嘴的下一个微孔移至所述电子显微镜(1)视野内。

2.根据权利要求1所述的喷油嘴微孔孔形检测系统，其特征在于，所述系统还包括壳(5)，所述旋转载物台(4)和所述电子显微镜(1)安装在所述壳(5)上表面，所述主控系统(3)放置在所述壳(5)内部。