[实用新型]米量级反射镜自动化柔性装校平台

说明书

本实用新型公开了米量级反射镜自动化柔性装校平台，其中，米量级反射镜自动化柔性装校平台包括底座和可转动地安装在底座上部的转台，转台包括装配面板和顶升板，在装配面板上沿顶升板的周向穿设有能够靠近或远离顶升板的定位销，在顶升板的上表面设置有柔性洁净垫，在装配面板的两侧均设置有锁螺丝组件。采用本实用新型提供的米量级反射镜自动化柔性装校平台，不仅解决了米量级反射镜的自动化柔性批量装校的问题，避免了人工干预引入的洁净问题，大大提高了装校效率，还使反射镜各处的预紧力均匀，减小了反射的波前误差，提高反射镜的装校质量和稳定性，同时可以推广应用到其他精密光学元件的装校工艺上。

技术领域

本实用新型属于米量级光学元件精密装校技术领域，具体涉及一种米量级反射镜自动化柔性装校平台。

背景技术

在高功率固体激光器中，以美国NIF大型激光装置为例，为了在实验室内创造发生聚变所需的极端高温高压环境，该类型装置由数百束高能固体激光经过长达数百米的光路后精准地射向直径为几毫米的靶球上，每束高能激光到达靶心的时间偏差小于60ps，打靶误差低于50μm。如此高的精度要求要靠每条光路中上成千上万块精密光学元件同时来保证，其中，传输反射镜主要是为了将高能激光束引导靶球，具有位置调整、对准方向和光程匹配等关键功能，其面形精度会直接影响激光的光束质量(波前误差)和靶心的能量密度。

目前，高功率固体激光装置中的反射镜的夹持工艺主要以背支撑、周向夹持等工艺为主，我国高功率固体激光装置中的反射镜装校工艺主要以周向夹持工艺为主。为了实现米量级的反射镜的夹持附加波前误差控制在1/3波长内且具备良好的稳定性，对反射镜周向近100余颗预紧螺钉的预紧工艺提出了较高的要求。目前主要依靠人工预紧，存在预紧力不均匀等问题，导致面型控制较差，装校工艺一致性较差且效率低下。因此，为了解决装校工艺一致性差、反射镜的离线精密装校效率低、人工干预引入的洁净等问题，提出自动化柔性装校平台具有重要意义。

实用新型内容

为解决人工预紧的方式，预紧顺序等难以控制，存在多颗螺钉拧紧力之间的非线性关联性，导致反射镜预紧力不均匀，从而导致反射的波前误差控制较差，甚至影响装校后的反射镜的稳定性受到影响的技术问题，以及现有装校工艺通过人工干预引入的洁净问题，本实用新型提供米量级反射镜自动化柔性装校平台。

为实现上述目的，本实用新型技术方案如下：

一种米量级反射镜自动化柔性装校平台，包括底座和可转动地安装在底座上部的转台，其要点在于：所述转台包括位于底座上方且可相对底座转动的装配面板以及可升降地设置在装配面板中心位置的顶升板，在所述装配面板上沿顶升板的周向穿设有能够靠近或远离顶升板的定位销，在所述顶升板的上表面设置有柔性洁净垫，在所述装配面板的两侧均设置有锁螺丝组件。

采用以上结构，通过定位销能够对机械框体进行对中限位，利用转台能够调节机械框体的角度，以便与反射镜对接，通过顶升板的设计能够先上升接住反射镜，再下降将反射镜平稳地置入机械框体中，其中，在顶升板上设置柔性洁净垫，不仅能够避免反射镜与顶升板的硬接触，还能够避免反射镜与机械框体底部的硬接触，对反射镜起到很好的保护作用，而且保证了反射镜表面的洁净度；最后，再利用锁螺丝组件打螺丝，不仅能够准确控制打螺丝顺序，而且能够精确控制螺丝拧紧扭矩，使反射镜各处的预紧力均匀，减小了反射的波前误差，提高了反射镜的稳定性；整套设备自动化程度高，避免了装校工艺过程中人工干预引入的洁净问题。

作为优选：在所述装配面板的下方平行设置有转动基板和顶升母版，所述顶升母版位于装配面板和转动基板之间，并通过内侧支撑杆与顶升板固定连接，所述装配面板通过外侧支撑杆与装配面板固定连接，在所述转动基板的下部设置有升降动力装置和转动动力机构，所述升降动力装置穿过转动基板后与顶升母版连接，所述顶升母版和顶升板能够在升降动力装置的带动下同步升降，所述转动动力机构与转动基板连接，所述装配面板、转动基板和顶升母版能够在转动动力机构的带动下同步转动。采用以上结构，使顶升板的升降和转台的转动稳定可靠。