[实用新型]一种激光加工间距调整结构

说明书

本申请属于激光加工技术领域，公开了一种激光加工间距调整结构。所述激光加工间距调整结构包括安装架、驱动轴和皮带；将所述分光元器件放置于所述安装架内；所述驱动轴与所述分光元器件的轴线平行，且两者通过皮带相连接，所述驱动轴转动带动所述皮带转动进而带动所述分光元器件转动。通过转动所述驱动轴，使其转过一定的角度，进而带动所述分光元器件转过一定的角度改变射向所述待加工工件的多束所述子激光束中的每两束所述子激光束的焦点之间的实际有效加工的划痕间距。

技术领域

本申请属于激光加工技术领域，公开了一种激光加工间距调整结构。

背景技术

在晶元精密加工领域，随着激光加工技术越来越成熟，对效率要求也越来越高的背景下，如何进一步有效、大幅度地提高激光加工效率，是很值得研究的问题。目前晶元加工都采用单轨加工的方式，即单束激光束进行加工的方式，且加工技术已经很成熟，想要进一步提升效率，只有依赖提升加工速度，而且考虑到工艺效果、精密平台的运动性能，也不可能大幅度改变加工速度，想要进一步提升效率已经几乎不可能。

在新研发的多轨道激光加工中，涉及到调整激光束的间距调整问题。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本申请实施例提供了一种能够调整激光束的间距的激光加工间距调整结构。

一种激光加工间距调整结构，包括安装有分光元器件的安装架、驱动轴和皮带；

所述驱动轴与所述分光元器件的轴线平行，且两者通过皮带相连接，所述驱动轴转动带动所述皮带转动进而带动所述分光元器件转动。

进一步的，在所述驱动轴上套设有与所述皮带相嵌合的第一皮带轮，所述驱动轴转动通过所述第一皮带轮带动所述皮带转动进而带动所述分光元器件转动。

进一步的，所述分光元器件的外侧设有与所述皮带相嵌合的皮带轮，所述皮带轮在所述皮带的作用下转动进而带动所述分光元器件转动。

进一步的，所述安装架包括水平方向的座板、垂直于座板上的竖直架、调节组件；

所述调节组件包括五维调节件、安装所述五维调节件并与所述竖直架固定连接的竖直安装板以及平行于所述安装板的调节板；

所述五维调节件包括三个平行设置且上下分布的调节旋钮，所述调节旋钮活动穿过安装板并与所述调节板固定连接，用于调节所述分光元器件与竖直方向的角度。

可选的，所述五维调节件还包括两个调节旋钮，一个调节旋钮装设于所述调节板的上表面，用于调节所述分光元器件的竖直方向的位置，另一个调节旋钮装设于所述调节板上沿分光元器件的径向方向的侧面，用于调节所述分光元器件的水平方向的位置。

进一步的，所述分光元器件装设于所述调节板背离所述五维调节件的一侧，且所述分光元器件的中心轴线垂直于所述调节板。

可选的，所述安装架包括水平方向的底板和位于底板上的竖直方向的立板，所述分光元器件装设于所述立板的一侧，且所述分光元器件的中心轴线垂直于所述立板。

可选的，所述激光加工间距调整结构还包括驱动所述驱动轴转动的驱动件。

与现有技术相比，本申请实施例提供的激光加工间距调整结构具有以下有益效果：

通过转动驱动轴，使其转过一定的角度，进而带动所述分光元器件转过一定的角度改变射向所述待加工工件的多束所述子激光束中的每两束所述子激光束的焦点之间的实际有效加工的划痕间距。

附图说明

图1为本申请实施例提供的第一实施例结构示意图；

图2为本申请实施例提供的光路原理图；

图3为本申请实施例中的子激光束两个焦点之间的间距与切割轨迹的关系示意图；