[实用新型]一种单晶硅用石英坩埚检查台

说明书

本实用新型涉及单晶硅用石英坩埚制造领域，具体涉及一种单晶硅用石英坩埚检查台。包括下平台和滑轮；还包括上平台与旋转组件；旋转组件包括旋转轴与轴承；旋转轴底端装配于轴承内，顶端固设于下平台底面中央；轴承固设于下平台上端面中央；滑轮有若干个，相邻滑轮间距固定且沿直线排布为相互平行的两排，各个滑轮均通过基座设于上平台上端面。本实用新型与现有的技术相比，可以有效地提高对石英坩埚的检查效率及检查精度。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅用石英坩埚制造领域，具体涉及一种单晶硅用石英坩埚检查台。

背景技术

单晶硅用石英坩埚制造完成后，要对其尺寸、外观等参数进行严格地检查。传统用的检查台一般只有一层平台和滑轮构成，石英坩埚放入平台后，端口部位朝向检查者方向，石英坩埚可以纵向旋转，但是不能横向旋转，所以在检查坩埚时，距离检测者越远的部位相关参数检测起来较为麻烦，不但影响检测精度，而且检测效率较低。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种单晶硅用石英坩埚检查台。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：

提供一种单晶硅用石英坩埚检查台，包括下平台和滑轮；还包括上平台与旋转组件；

旋转组件包括旋转轴与轴承；旋转轴底端装配于轴承内，顶端固设于下平台底面中央；轴承固设于下平台上端面中央；滑轮有若干个，相邻滑轮间距固定且沿直线排布为相互平行的两排，各个滑轮均通过基座设于上平台上端面。

作为一种改进，下平台的宽度大于上平台的宽度。

作为一种改进，滑轮至少有6个。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

对于传统检查台，检查者无法从石英坩埚端口方向检测石英坩埚内表面状况，本实用新型的双层结构可以有效解决此问题，当石英坩埚放入到本实用新型上，可以通过横向旋转，将石英坩埚端口朝向检查者，从而方便检查石英坩埚内表面状况。同时，本实用新型可以360°横向旋转，所以石英坩埚外表面不同部位都可以近距离的展现在检查者面前，方便检查者检查石英坩埚外表面状况。所以本实用新型与现有的技术相比，可以有效地提高对石英坩埚的检查效率及检查精度。

附图说明

图1为本实用新型三维图；

图2为本实用新型主视图；

图3为本实用新型俯视图；

图4为本实用新型左视图。

其中，1-滑轮，2-基座，3-上平台，4-下平台，5-轴承，6-旋转轴。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型进行详细描述。

如图1-4所示，一种单晶硅用石英坩埚检查台，包括下平台4、滑轮1、上平台3和旋转组件。

旋转组件包括旋转轴6与轴承5。旋转轴6底端装配于轴承5内，顶端固设于下平台4底面中央。轴承5固设于下平台4上端面中央。滑轮1有6个，相邻滑轮1间距固定且沿直线排布为相互平行的两排，每排有3个滑轮1。各个滑轮1均通过基座2设于上平台3上端面。下平台4的宽度大于上平台3的宽度。

本实用新型的使用方法为：将本实用新型固定在检查桌上，将石英坩埚躺放在上平台3两侧对称的滑轮1上，检查坩埚不同部位时，通过横向旋转上平台3可以全方位检查石英坩埚外表面外观状况及其他相关尺寸等参数；石英坩埚内表面外观、尺寸可以通过纵向旋转坩埚，使得坩埚与滑轮接触，通过滑轮旋转带动坩埚旋转来检查。

最后需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。