[实用新型]一种基于波前传感器的紫外波前测试设备

说明书

本实用新型公开了一种基于波前传感器的紫外波前测试设备，包括激光器和波前传感器，所述激光器发出光经过测试光路后到达波前传感器，测试光路中，激光器发出光依次通过旋转毛玻璃、空间滤波器、准直镜I以45度照射到分束镜I上，分束镜I对一部分激光进行90度反射后以45度照射到分束镜II上，分束镜II对照射的一部分激光进行90度反射，反射的激光通过扩束镜I后由标准反射镜180度反射，被标准反射镜反射的激光通过扩束镜I后再次照射到分束镜II上，其中一部分光透过分束镜II后再通过扩束镜II照射到波前传感器上。与传统激光干涉仪相比，本实用新型测试设备采用波前传感器进行测量，提高了系统测试的动态范围和测量精度。

技术领域

本实用新型涉及一种基于波前传感器的紫外波前测试设备，属于光学测量技术领域。

背景技术

对于高精度的镜头和光学系统，除了传统的偏心调试和空气间隔调整之外我们需要特殊的手段进行主动装调以便能够更加形象，高精度的控制它的性能。波前传感器具有波长范围广，动态范围宽，测量精度高等优点，可以广泛应用与镜头和光学模组的装调和检测。

传统上激光干涉仪高精度测量仪器，可以控制镜头和模组的波前，但是激光干涉仪有它的局限性，特别是在紫外波段。激光干涉仪只能测试特定波段测试，例如：633nm，532nm等，应用范围窄。波前传感器应用范围宽,例如：250nm-400nm，300nm-1000nm还有红外波前等，波长范围跨度非常宽。

激光干涉仪动态范围小，只能测到100根条纹左右，波前可以测到几千根条纹。

我们在做紫外波前设备的时候有几个注意点：1.应为是紫外波段，对玻璃零件要求表面质量要求高，一般在美军标40/20,表面要求超光滑。2.系统杂散光的消除，光源位置需要加旋转毛玻璃去相干。最好加上空间滤波器，提高光源的纯净度。3.要考虑到光束与CCD靶面大小的关系，一般用到70％到95％。所以过程中需要用到光阑和扩束镜。4.测试时需要消除系统测量误差，提高测试精度。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型所要解决的技术问题是提供一种基于波前传感器的紫外波前测试设备，该测试设备能够获取被测镜头波前，以此来评判镜头质量。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案为：

一种基于波前传感器的紫外波前测试设备，包括激光器和波前传感器，所述激光器发出光经过测试光路后到达波前传感器；测试光路中，激光器发出光依次通过旋转毛玻璃、空间滤波器、准直镜I以45度照射到分束镜I上，分束镜I对一部分激光进行90度反射后以45度照射到分束镜II上，分束镜II对照射的一部分激光进行90度反射，反射的激光通过扩束镜I后由标准反射镜180度反射，被标准反射镜反射的激光通过扩束镜I后再次照射到分束镜II上，其中一部分光透过分束镜II后再通过扩束镜II照射到波前传感器上。

其中，还包括对准光路，所述对准光路包括准直镜II和对准目标，经过所述标准反射镜180度反射的激光部分由分束镜II90度反射后依次穿过分束镜I和准直镜II后照射到对准目标上。

其中，所述激光器为370nm的半导体单横模激光器。

其中，所述分束镜I的反射透射比为9:1，分束镜II的透射反射比为5:5。

其中，所述波前传感器波长范围为300nm～1000nm。

其中，所述扩束镜I倍率根据被测镜头的尺寸确定，所述扩束镜II的倍率根据波前传感器口径大小确定。

与现有技术相比，本实用新型技术方案具有的有益效果是：