[实用新型]一种用于生产超纯砷烷的净化装置有效
| 申请号： | 201821793085.3 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN209411800U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 陈国富;龚施健;彭王生;郑亚平 | 申请（专利权）人： | 博纯材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C01G28/00 | 分类号： | C01G28/00 |
| 代理公司： | 泉州市博一专利事务所(普通合伙) 35213 | 代理人： | 洪渊源;郑庭山 |
| 地址： | 362617 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 砷烷 筒节 精馏筒体 净化装置 热交换器 净化气 热交换 电加热管 分支导管 导出管 排出口 填料柱 精馏 旁管 抽真空管 极性杂质 复数组 回流管 检测管 进气管 气化管 外侧壁 并联 侧壁 分排 吸附 逸出 加热 出口 体内 净化 生产 进口 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于生产超纯砷烷的净化装置，包括填料柱、精馏筒体以及热交换器，所述填料柱连接在精馏筒体顶部，其特征在于：所述填料柱的顶端固定连接一个筒节，所述筒节侧壁上设有一个砷烷进气管，所述筒节顶端设有一个轻组分排出口，所述轻组分排出口与所述热交换器内的旁管进口连接，所述热交换器的旁管出口通过一回流管连接至所述筒节内，所述精馏筒体的外侧壁设有复数组电加热管，该精馏筒体的底部设有重组分排出口，所述精馏筒体的顶部分别连接有抽真空管、气化管、净化气检测管以及净化气导出管，所述净化气导出管上还并联有一个分支导管，该分支导管的末端连接至所述筒节内。
2.如权利要求1所述的一种用于生产超纯砷烷的净化装置，其特征在于：所述筒节的侧壁还连接一个用于检测所述筒节内部压力的压力表。
3.如权利要求1所述的一种用于生产超纯砷烷的净化装置，其特征在于：所述热交换器的壳体上设有冷却剂进口和冷却剂出口。
4.如权利要求1所述的一种用于生产超纯砷烷的净化装置，其特征在于：所述电加热管为三组。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于博纯材料股份有限公司，未经博纯材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821793085.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
