[实用新型]蒸镀掩模装置

权利要求书

1.一种蒸镀掩模装置，其至少临时与保持部件所保持的基板组合，其特征在于，该蒸镀掩模装置具有：

蒸镀掩模，其包含从位于所述基板侧的第1面至位于所述第1面的相反侧的第2面的多个掩模贯通孔；以及

框架，其设置有与所述蒸镀掩模的一部分重叠的开口部并且对所述蒸镀掩模进行支承，

所述框架具有：

正面，其面向所述蒸镀掩模的所述第2面；

背面，其与所述正面对置；

外侧面，其在所述正面与所述背面之间扩展；以及

内侧面，其面向所述开口部，在比所述外侧面靠内侧的位置在所述正面与所述背面之间扩展，

在所述框架的所述正面中的远离所述开口部的位置形成有能够收纳所述保持部件的至少一部分的多个收纳部。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置，其特征在于，

多个所述收纳部形成于所述开口部与所述外侧面之间。

3.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置，其特征在于，

多个所述收纳部延伸至所述外侧面。

4.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置，其特征在于，

所述框架的所述正面包含：

第1正面，其位于所述内侧面侧；以及

第2正面，其位于所述外侧面侧并且位于比所述第1正面靠所述背面侧的位置，

所述第1正面与所述第2正面经由中间面而相互连结，

所述收纳部形成于所述第1正面并且延伸至所述中间面。

5.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置，其特征在于，

多个所述收纳部形成为围绕所述开口部。

6.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置，其特征在于，

所述蒸镀掩模包含焊接于所述框架的所述正面的接合部，

所述接合部的至少一部分位于所述开口部与所述收纳部之间。

7.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置，其特征在于，

各个所述收纳部的至少一部分形成于比所述蒸镀掩模的长度方向上的一对端部靠内侧的位置。

8.一种蒸镀掩模装置，其特征在于，具有：

蒸镀掩模，其具有第1面和位于所述第1面的相反侧的第2面；以及

框架，其具有位于所述蒸镀掩模侧的第3面和位于所述第3面的相反侧的第4面，

所述蒸镀掩模与所述框架经由接合部而相互接合，

所述框架还具有位于所述接合部的外侧的第5面，

所述第5面的至少一部分位于比所述第3面靠所述第4面侧的位置，

所述第5面是收纳部的一个面，在将保持部件所保持的基板组合于蒸镀掩模装置时，所述收纳部能够收纳所述保持部件的至少一部分。