[实用新型]灌装接头、光阻包材系统

说明书

本实用新型公开了一种灌装接头、光阻包材系统，属于光阻灌装领域。所述灌装接头包括：分别与光阻包材的储存罐罐口、内衬袋袋口连通的外盖、接头本体，以及进液管；外盖与接头本体连接，并设置有与光阻包材的储存罐贯通的多个排气孔；接头本体上设置有液体通道、气体通道，液体通道的上端口通过第一扩口接头与光阻供给管连接并贯通，气体通道与光阻包材的内衬袋贯通；进液管的上端口通过第二扩口接头与液体通道的下端口连接并导通，下端口伸入至光阻包材的内衬袋中。本实用新型既不仅可避免在在向内衬袋灌装光阻的过程中，大气中的粉尘进入内衬袋中，也可避免内衬袋中的气体排出至大气中；而且也具有操作简单的特点，可减少劳动强度以及作业时间。

技术领域

本实用新型涉及光阻灌装领域，特别涉及一种灌装接头、光阻包材系统。

背景技术

光阻作为一种光敏材料，通常应用于微电子制造业中以实现精细线路及图形的加工。为了避免光阻在使用前曝光，一般在储存和运输中采用光阻包材对其进行隔光处理。其中，光阻包材包括:储存罐、以及设置在储存罐内的内衬袋；内衬袋袋口与储存罐罐口连接，且内衬袋袋口上设置有与储存罐贯通的排气孔。

目前，在向光阻包材内灌装光阻时，先向内衬袋中吹气，直至内衬袋与储存罐内壁紧密贴合，且同时内衬袋与储存罐之间的气体通过内衬袋袋口上的排气孔排出。之后，将光阻供给管由储存罐罐口插入至内衬袋中，进行光阻灌装，且同时内衬袋中的气体从光阻供给管与储存罐罐口之间的间隙排出。

设计人发现现有技术至少存在以下问题：

由于光阻供给管与储存罐罐口之间具有间隙，不仅使得大气中的粉尘进入内衬袋中，会对内衬袋中光阻的洁净度造成影响，严重时会造成光阻的报废；而且使得在向内衬袋注入光阻的过程中，内衬袋内的气体会排放至大气中，污染环境。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种灌装接头、光阻包材系统，可以解决上述问题。所述技术方案如下：

一方面，提供了一种灌装接头，所述灌装接头包括：分别与光阻包材的储存罐罐口、内衬袋袋口可拆卸连接并贯通的外盖、接头本体，以及进液管；

所述外盖与所述接头本体连接，并设置有与所述光阻包材的储存罐贯通的多个排气孔；

所述接头本体上设置有液体通道、气体通道，所述液体通道的上端口通过第一扩口接头与光阻供给管连接并贯通，所述气体通道与所述光阻包材的内衬袋贯通；

所述进液管的上端口通过第二扩口接头与所述液体通道的下端口连接并导通，下端口伸入至所述光阻包材的内衬袋中。

在一种可能的设计方式中，所述接头本体包括：与所述外盖连接的圆柱体，以及分别设置在所述圆柱体上、下端的上圆柱凸台、下圆柱凸台；

所述圆柱体、所述上圆柱凸台以及所述下圆柱凸台沿轴向分别设置有第一液体通道、第二液体通道、第三液体通道，所述第一液体通道、所述第二液体通道与所述第三液体通道配合构成所述液体通道；

所述圆柱体的下端伸入至所述外盖内与所述内衬袋袋口连接，且所述气体通道设置在所述圆柱体上；

所述上圆柱凸台通过所述第一扩口接头与所述光阻供给管连接并贯通；

所述下圆柱凸台通过所述第二扩口接头与所述进液管的上端口可拆卸连接并贯通。

在一种可能的设计方式中，所述圆柱体的外壁上设置有安装槽；

所述灌装接头还包括：设置在所述安装槽上的卡簧，所述卡簧还与所述外盖的顶壁相抵。

在一种可能的设计方式中，所述卡簧的首部与尾部通过紧固件可拆卸连接。

在一种可能的设计方式中，所述圆柱体的外壁上还设置有限位凸台；