[实用新型]一种PVD加热装置及设备

说明书

本实用新型公开了一种PVD加热装置及设备，前者包包括导电支撑机构、导电连接机构、电热元件和电热元件驱动单元；导电支撑机构安装在腔体上；导电连接机构被设置为用于连接导电支撑机构和电热元件，以使得电热元件与导电支撑机构电连接；电热元件驱动单元被设置为用于带动电热元件在腔体内移动。本申请的PVD加热装置通过导电连接机构连接电热元件和导电支撑机构，实现电热元件的通电加热。电热元件驱动单元可驱动电热元件在腔体内移动，避免与载板干涉，有效地去除腔体内的水蒸气。

技术领域

本实用新型涉及气相沉积设备领域，更具体地，涉及一种PVD加热装置及设备。

背景技术

PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)是指利用物理方式实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。在PVD工艺时，需要对腔体进行抽真空。抽真空的过程中会产生水蒸气，而水蒸气将会导致真空泵的润滑油发生乳化变质，影响到真空泵的正常工作。

为了去除腔体内的水蒸气，可在腔体内设置电热元件。但是，PVD设备中的载板在腔体内可移动，使得难以向腔体内的电热元件供电，导致无法正常将电热元件安装在腔体内。

因此，如何提供一种可加热去除腔体内的水蒸气的PVD加热装置成为本领域亟需解决的技术难题。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是提供一种可加热去除腔体内的水蒸气的PVD加热装置的新技术方案。

根据本实用新型的第一方面，提供了一种PVD加热装置。

该PVD加热装置包括导电支撑机构、导电连接机构、电热元件和电热元件驱动单元；其中，

所述导电支撑机构安装在腔体上；

所述导电连接机构被设置为用于连接所述导电支撑机构和所述电热元件，以使得所述电热元件与所述导电支撑机构电连接；

所述电热元件驱动单元被设置为用于带动所述电热元件在腔体内移动。

可选的，所述导电支撑机构包括电源接头和第一导电支架，所述电源接头穿过所述腔体设置，且所述电源接头的一端与腔体的外部的电源连接，所述电源接头的另一端与所述第一导电支架固定连接；

所述第一导电支架位于腔体内，且所述第一导电支架与所述导电连接机构相连接。

可选的，所述导电支撑机构还包括绝缘固定件，所述绝缘固定件被设置为用于连接所述第一导电支架和腔体的内壁，以将所述第一导电支架固定在腔体内。

可选的，所述电热元件包括电阻件和底板，所述电阻件设置在底板上，所述底板与所述电热元件驱动单元驱动连接。

可选的，所述导电连接机构包括导电件；

所述导电件与所述导电支撑机构滑动配合连接。

可选的，所述导电连接机构还包括导电件支撑组件；

所述导电件支撑组件包括第一支撑件、弹性件和第二支撑件，所述第一支撑件与所述导电件固定连接，所述第二支撑件与所述电热元件固定连接；

所述第一支撑件和所述第二支撑件滑动配合连接，所述弹性件设于所述第一支撑件和所述第二支撑件之间，以向所述第一支撑件提供朝向所述导电支撑机构的弹性力，使得所述导电件与所述导电支撑机构紧密接触。

可选的，所述第一支撑件包括第一支撑件主体和第一滑筒，所述第一支撑件主体与所述导电件固定连接，所述第一滑筒设于所述第一支撑件主体远离所述导电件的一端；

所述第二支撑件包括第二支撑件主体和第二滑筒，所述第二支撑件主体与所述电热元件固定连接，所述第一滑筒与所述第二滑筒滑动配合连接，且所述第一滑筒和所述第二滑筒构成弹性件腔，所述弹性件位于所述弹性件腔内。