[实用新型]集成电路制程异常的定位装置有效
| 申请号： | 201821784199.1 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN209199879U | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 闫晓东 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 阚梓瑄;袁礼君 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制程 量测信息 集成电路 本实用新型 编号信息 定位装置 预设 输入数据类型 监测结果 量测数据 数据类型 选择目标 目标制 监测 健康 | ||
1.一种集成电路制程异常的定位装置，其特征在于，包括：
信息输入模块，用于输入数据类型以及产品预设的编号信息；
制程选择模块，用于显示与被输入所述编号信息的所述产品相关的若干制程量测信息，并从若干所述制程量测信息中选择目标制程量测信息，所述目标制程量测信息与输入的所述数据类型相符合；
显示标记模块，用于显示所选择的所述制程量测信息，并将所述制程量测信息中处于预设阈值范围之外的量测数据进行标记，实现对所述集成电路制程异常的定位。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述信息输入模块中所述数据类型包括：线上量测数据，缺陷测试数据，电性测试数据，晶圆测试数据以及封装测试数据。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还连接至制程信息存储系统，所述制程信息存储系统中存储有与所述产品的相关所述制程量测信息。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述制程选择模块连接至所述制程信息存储系统，并根据被输入的所述编号信息的产品显示相关的制程信息，所述制程信息包括：制程站点信息和制程量测信息；在选择所述制程站点信息时显示与所述制程站点相关的制程量测信息，从中选择需要查看的部分所述制程量测信息。
5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述显示标记模块连接至所述制程信息存储系统，具体用于：
根据所选择的所述数据类型，将预设时间段内的各个量测数据输出；
将超出所述预设阈值范围的上限值的量测数据进行标记，和/或
将低于所述预设阈值范围的下限值的量测数据进行标记。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
