[实用新型]一种检漏测试连接治具

说明书

本实用新型公开一种检漏测试连接治具，包括盲板和转接头；盲板上设有六个螺纹孔，盲板通过螺纹孔与连接转接头；盲板还设有六个通孔，通过通孔连接零件；盲板中心设有气孔，气孔外围设有容置密封圈一的环槽一。转接头为喇叭形，喇叭口前端面通过螺栓与盲板。本实用新型采用盲板与工件连接，盲板上设计多种螺纹孔，可以与多个零件配合使用，大大提高了盲板的兼容性，节约资源。操作方便，有很好的兼容性，使用寿命长，降低了治具成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体装备制造领域，具体说是一种半导体设备零部件检漏测试治具。

背景技术

随着半导体行业的发展，半导体设备发展也日益成熟，一些半导体关键零件对密封性能和洁净度要求很高。以往的治具采用焊接的方式加工，此方法易导致零件被二次颗粒污染，焊缝的气孔会影响测试结果的准确性，且治具本身受力不均匀，易损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种检漏测试治具，操作简单，兼容性好，测试结果准确性高，且无二次污染。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种检漏测试连接治具，包括盲板和转接头；盲板上设有六个螺纹孔，盲板通过螺纹孔与连接转接头；盲板还设有六个通孔，通过通孔连接零件；盲板中心设有气孔，气孔外围设有容置密封圈一的环槽一。转接头为喇叭形，喇叭口前端面通过螺栓与盲板。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型采用盲板与工件连接，盲板上设计多种螺纹孔，可以与多个零件配合使用，大大提高了盲板的兼容性，节约资源。

2、本实用新型采用机加工转接头，转接头为一体结构，抛弃了焊接结构，在保证零件密封作用的前提下，又避免了零件被二次污染，排除了焊接气孔导致的测试结果不准确。

附图说明

图1为实用新型的盲板示意图。

图2为实用新型的转接头端面图。

图3为实用新型的转接头侧视图。

具体实施方式

下面结合附图1-3及附图标记对本实用新型进一步详细说明。

如图1-2所示，一种检漏测试连接治具，包括盲板1和转接头2；

盲板1上设有六个螺纹孔3，盲板1通过螺纹孔3与连接转接头2；

盲板1还设有六个通孔4，通过通孔连接零件；

盲板1中心设有气孔5，气孔外围设有容置密封圈一10的环槽一。

转接头2为喇叭形，喇叭口前端面的圆孔6通过螺栓与盲板1，还设有气孔二8

盲板的通孔通过螺钉与工件连接。

转接头2后端面通过卡箍9与设备连接锁紧。

转接头2上设有容置密封圈二7的环槽二，环槽二的直径大于环槽一的直径。

实施例

安装之前，先对盲板进行清洗，保证其洁净度。随后在盲板上正确的安装密封圈，最后用螺钉将盲板与零件连接锁紧。整个过程要确保不要伤到零件。

转接头安装时，先对转接头进行清洗。然后正确的安装密封圈，用螺钉将转接头与盲板连接锁紧。最后用卡箍将转接头与检漏设备连接锁紧。

零件测试前，盲板与零件连接完好，转接头与盲板和设备连接完好。测试时，无论是加压或者抽真空，一体化的转接头都能保证密封效果，并且不会造成二次污染，排除治具带来的测试误差。