[实用新型]一种烘干装置

说明书

本实用新型属于太阳能电池制备技术领域，公开了一种用于烘干硅片的烘干装置，包括：槽体，所述槽体具有容纳待烘干硅片的容纳腔；至少一个中空板，所述中空板设置于所述槽体内底部并能够与所述槽体外部的风机连通，且所述中空板上设有多个与其内部连通的喇叭状出风结构；多个支架，各所述支架设置于所述中空板的出风面上，用于支撑花篮，所述花篮用于放置待烘干的硅片，且所述支架的高度高于所述出风结构的高度。空气经板状的中空板进入槽体内，中空板的出风面可大大提升进入槽体内的热风的利用率，使大部分热风直接有效的对硅片进行烘干；相比圆孔状的出风口，喇叭状的出风结构可大大提升出风的面积，使硅片在短时间内被烘干，缩短烘干所需时间。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种用于烘干硅片的烘干装置。

背景技术

目前，用于制作硅太阳能电池的硅片有单晶硅与多晶硅，太阳能电池的制备过程中，硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序，制作电池的第一步是将硅片制绒。单晶硅基本上是用NaOH/KOH溶液制绒，制绒的设备为槽式机台；多晶硅目前是用HF/HNO₃混合溶液制绒，采用槽式机台的设备。众所周知，制绒的下一道工序是扩散制结，即PN结制备工序，而进到扩散工序的硅片必须是脱完水渍的，所以制绒的设备需具备将硅片烘干的能力。

采用槽式机台的设备，均设置有烘干槽，用于烘干硅片。一般地，如图1所示，烘干槽的槽体1'底部通入三根热风管2'，热风管2'上开有小圆孔3'，装有硅片的花篮放置在支架4'上，热风通过圆孔3'进入槽体1'内，从而使槽体1'内的硅片在一定时间内被烘干。该烘干槽的缺点是，热风管2'为管状结构，导致直接吹在花篮中的硅片上的热风少，吹进槽内的热风不能被有效的利用，导致烘干一篮硅片需要较长的时间，影响生产量。

因此，在保证硅片被烘干的情况下，尽可能的缩短烘干时间，以提高产量是产业化的趋势。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的烘干装置，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种烘干装置，能够使硅片在短时间内被烘干，大大缩短烘干所需时间，有效提升产量。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种烘干装置，包括：

槽体，所述槽体具有容纳待烘干硅片的容纳腔；

至少一个中空板，所述中空板设置于所述槽体内的底部并能够与所述槽体外部的风机连通，且所述中空板上设有多个与其内部连通的喇叭状出风结构；

多个支架，各所述支架设置于所述中空板的出风面上，用于支撑花篮，所述花篮用于放置待烘干的硅片，且所述支架的高度高于所述出风结构的高度。

进一步地，所述中空板内设有加热空气的加热件。

进一步地，所述中空板连接有与其内部连通的连接管，所述连接管穿过所述槽体的侧壁与所述风机的出风结构连接。

进一步地，所述支架与所述中空板可拆卸连接。

进一步地，所述支架包括与所述中空板螺纹连接的连接部、与所述连接部连接的支撑部。

进一步地，所述支撑部的端部设有卡持所述花篮边缘的台阶槽。

进一步地，所述槽体的顶部设有用于放入硅片的开口，所述开口处设置有盖板。

进一步地，所述盖板与所述槽体枢转连接。

进一步地，所述槽体上设有至少一个排风口。

进一步地，所述槽体内底部设有定位所述中空板的定位凹槽。