[实用新型]一种分子泵电机的水冷结构

权利要求书

1.一种分子泵电机的水冷结构，包括电机外壳及套设在电机外壳上的外壳外套，其特征在于：沿电机外壳外套轴线方向布置有冷却水道，所述冷却水道包括水道Ⅰ和水道Ⅱ，水道Ⅰ和水道Ⅱ相连通，所述水道Ⅰ包括多个水槽Ⅰ，前一个水槽Ⅰ的末端与后一个水槽Ⅰ的前端通过连接槽连接，所述水道Ⅱ包括多个水槽Ⅱ，前一个水槽Ⅱ的前端与后一个水槽Ⅱ的末端通过连接槽连接，水道Ⅰ中最后一个水槽Ⅰ的末端与水道Ⅱ中最后一个水槽Ⅱ的前端相连通，水道Ⅰ与水道Ⅱ未连通的端部分别为进水口及出水口。

2.根据权利要求1所述的一种分子泵电机的水冷结构，其特征在于：所述连接槽至少设有一段弧形段。

3.根据权利要求2所述的一种分子泵电机的水冷结构，其特征在于：所述连接槽为U型结构、V型结构、矩形结构或者梯形结构。

4.根据权利要求1所述的一种分子泵电机的水冷结构，其特征在于：所述水道Ⅰ和水道Ⅱ对称布置，所述进水口及出水口位于同一水平线上。

5.根据权利要求3所述的一种分子泵电机的水冷结构，其特征在于：所述多个水槽Ⅰ通过连接槽连接后构成S型结构，所述多个水槽Ⅱ通过连接槽连接后也呈S型结构。

6.根据权利要求1所述的一种分子泵电机的水冷结构，其特征在于：所述水槽Ⅰ与水槽Ⅱ相连通位置设有第一进口，第一进口与进水管或者出水管连接，进水口及出水口与出水管或者进水管连接。

7.根据权利要求1所述的一种分子泵电机的水冷结构，其特征在于：所述电机外壳内壁设有外壳内套，外壳内套与电机外壳构成一空腔，空腔通过进口与出口与外界连通，所述进口连接有鼓风机及喷雾发生装置，在鼓风机的作用下能够将空气及喷雾发生装置形成的水雾鼓入空腔内，并从出口排出。

8.根据权利要求7所述的一种分子泵电机的水冷结构，其特征在于：所述进口有多个，每一个进口均与鼓风机及喷雾发生装置连接。