[实用新型]一种CMP抛光设备用抛光载物台

说明书

本实用新型涉及一种CMP抛光设备用抛光载物台，包括载物台，所述载物台的上表面设置有第一吸盘，第一吸盘的外部环绕设置有第二吸盘，所述第二吸盘的外部环绕设置有第三吸盘，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的下端均固定载物台的上表面，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的内壁处设置有吸盘壁空腔；该CMP抛光设备用抛光载物台，通过第一吸盘、第二吸盘、第三吸盘分别通过连管与风机连接，增加吸盘与CMP板连接的吸附点，避免单个吸盘与CMP板之间出现接触不良，造成的CMP板固定松动，提高CMP板安装的稳定性，同时第一吸盘、第二吸盘、第三吸盘的上端均采用V字形吸环，增加吸环与CMP板接触的面积，提高CMP板固定的牢靠性。

技术领域

本实用新型涉及抛光载物台技术领域，具体为一种CMP抛光设备用抛光载物台。

背景技术

CMP抛光机是抛光机的一种，主要用于平面抛光，区别于圆管抛光、凹凸面抛光等，针对可进行平面抛光的工件产品。又可分为单面抛光、双面抛光，对CMP进行祛除工件表面的划痕，斑点，塌边现象，使工件表面光亮，平滑，成镜面效果甚至达到某一精确的粗超度值的机器。现有的CMP抛光设备的载物台拆装不方便，CMP板与载物台放置稳定性差，存在工作效率低的问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种CMP抛光设备用抛光载物台，具备CMP板安装和拆卸效率高，固定方式稳定等优点，解决了CMP抛光机在使用时，CMP板与载物台放置稳定性差，容易导致CMP板抛光效率差，同时提高CMP抛光的时间，降低CMP板抛光平滑度，同时CMP板固定后拆卸耗费时间，提高CMP板抛光的工作强度的问题。

为实现上述CMP抛光机在使用时，CMP板与载物台放置稳定性差，容易导致CMP板抛光效率差，同时提高CMP抛光的时间，降低CMP板抛光平滑度，同时CMP板固定后拆卸耗费时间，提高CMP板抛光的工作强度的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种CMP抛光设备用抛光载物台，包括载物台，所述载物台的上表面设置有第一吸盘，第一吸盘的外部环绕设置有第二吸盘，所述第二吸盘的外部环绕设置有第三吸盘，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的下端均固定载物台的上表面，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的内壁处设置有吸盘壁空腔，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的上端表面设置有吸环，所述吸环通过粘合分别固定在第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的上端表面，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘外侧均设置有支撑外套环，所述支撑外套环的下端通过焊接固定在载物台的上表面。

优选的，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的形状结构相同，所述第二吸盘设置有六个，六个所述第二吸盘环绕在第一吸盘的外部，所述第三吸盘设置有十二个，十二个所述第三吸盘环绕在第二吸盘的外部，所述吸环为环形结构，且所述吸环的截面为V字形结构。

优选的，所述支撑外套环的内部设置有支撑内套环，所述支撑外套环和支撑内套环均为环形结构，所述支撑外套环上端的内表面和支撑内套环下端的外表面均设置有凸起，所述支撑外套环和支撑内套环的内部均设置有压缩弹簧，所述压缩弹簧的上端通过焊接固定在支撑内套环的内表面，所述压缩弹簧的下端通过焊接固定在载物台的上表面，所述支撑内套环的下端通过压缩弹簧和凸起卡合在支撑外套环上端的内部。

优选的，所述支撑内套环的上端表面设置有橡胶垫，所述橡胶垫通过粘合固定在支撑内套环的上端表面，所述橡胶垫的截面为U形结构，所述橡胶垫的内部设置有缓冲板，所述橡胶垫和缓冲板为一体式结构。

优选的，所述载物台的内部设置有载物台内腔，所述载物台内腔内部的下表面设置有风机，所述风机通过螺栓固定在载物台内腔内部的下表面，所述风机设置有三个。

优选的，三个所述风机的一端依次连接设置有第一连管、第二连管和第三连管，所述第一连管、第二连管和第三连管的下端通过螺栓分别与风机的上端旋合连接，所述第一连管的上端贯穿载物台的表面并通过螺栓与第一吸盘进行旋合连接，所述第二连管的上端贯穿载物台的表面并通过螺栓旋合与第二吸盘连接，所述第三连管的上端贯穿载物台的表面并通过螺栓旋合与第三吸盘连接。