[实用新型]一种基于霍尔效应的线偏振光检测模块有效
| 申请号： | 201821752757.6 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN208872417U | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J4/04 | 分类号： | G01J4/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528458 广东省中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属层 线偏振光 霍尔效应 检测模块 偏振特性 带电粒子 金属片层 基底层 迁移率 电势 霍尔 本实用新型 电流方向 金属凹槽 石墨烯层 条形金属 左右设置 灵敏度 入射光 电极 磁场 垂直 响应 | ||
1.一种基于霍尔效应的线偏振光检测模块，其特征在于：包括基底层（1），设置于基底层（1）上方的金属层（2），设置于金属层（2）至少部分上方的石墨烯层（3）；
所述金属层（2）包括金属凹槽（21）和金属片层（22），所述金属片层（22）的上方形成条形金属凹槽（21）；
所述金属层（2）的左右设置有电极（4）；所述金属层（2）的前后两侧垂直于电流方向设置有磁场。
2.如权利要求1所述的一种基于霍尔效应的线偏振光检测模块，其特征在于：所述金属层（2）为金或银制成。
3.如权利要求2所述的一种基于霍尔效应的线偏振光检测模块，其特征在于：所述金属凹槽（21）截面的形状是矩形、锯齿形或梯形等具有各向异性的形状。
4.如权利要求3所述的一种基于霍尔效应的线偏振光检测模块，其特征在于：所述金属凹槽（21）的设置方向为水平方向。
5.如权利要求4所述的一种基于霍尔效应的线偏振光检测模块，其特征在于：所述金属凹槽（21）为水平横向设置。
6.如权利要求4所述的一种基于霍尔效应的线偏振光检测模块，其特征在于：所述金属凹槽（21）为水平纵向设置。
7.如权利要求5或6所述的一种基于霍尔效应的线偏振光检测模块，其特征在于：所述金属层（2）上平铺一层石墨烯薄膜，形成部分悬置的石墨烯层（3）。
8.如权利要求5或6所述的一种基于霍尔效应的线偏振光检测模块，其特征在于：所述金属凹槽（21）底部设有一层石墨烯薄膜，形成石墨烯层（3）。
9.如权利要求1所述的一种基于霍尔效应的线偏振光检测模块，其特征在于：所述基底层（1）为硅或二氧化硅制成。
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