[实用新型]一种传输装置

说明书

本实用新型涉及气相外延设备技术领域，尤其涉及传输装置，包括传输组件和调整组件，传输组件包括腔室和位于腔室内用于输送载板的传送件，调整组件沿载板的传输方向设置于腔室的内侧壁上；调整组件包括调整轮和调整轮支撑台，调整轮支撑台与腔室的内侧壁通过第一连接件可拆卸连接，调整轮设置于调整轮支撑台上。本实用新型结构简单可靠，可有效保证载板传输方向的一致性和调整轮位置的调整性，由原来不可调式的结构优化为可调式，同时也增加了后续载板传输方向的可调节性，在腔室主要为载板进入MOCVD工艺环境时保证传输的精确性与稳定性，对实现和保证设备的高产能具有重要意义。

技术领域

本实用新型涉及气相外延设备技术领域，尤其涉及一种传输装置。

背景技术

金属有机物化学气相沉积(MOCVD)，是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种化学气相沉积工艺，用于生长外延晶片。它是以III族、II族元素的有机化合物和V、VI族元素的氢化物等作为晶体生长的反应气体，以热分解反应方式在蓝宝石衬底或其他衬底上进行外延沉积工艺，生长各种III-V族、II-VI族化合物半导体以及它们的多元固溶体的外延材料层。通常MOCVD的生长条件是在低压(1000-10000pa)下进行，生长使用的载气(通常为N₂或H₂)与原料气体按一定比例混合通入反应腔内，衬底温度一般在700-1500K之间。

目前在薄膜太阳能电池组件中，薄膜层起到光电转换的作用，其性能在很大程度上决定了电池片的光电转换效率，即电池片的关键性能参数。薄膜层一般采用MOCVD的加工方式进行材料生长，在整条薄膜太阳能电池片生产线中，MOCVD设备成本占据非常高的比例，其产能的提高能够极大的降低电池片的制造成本。

传输腔模块是MOCVD设备中的关键组成部分，其主要功能是将载板从设备加载端传递至其内部，载板传递过程中，传输腔的设计要保证载板能够在快速状态下，稳定而安全的到达指定位置。传输腔模块是MOCVD设备中的关键组成部分，其主要功能是将载板从设备加载端传递至其内部，载板传递过程中，传输腔的设计要保证载板能够在快速状态下，稳定而安全的到达指定位置。同时，在工艺腔打开时，传输腔的设计还要能快速而精确的将载板从传输腔传递至工艺腔中。待工艺结束时，传输腔的也要满足将载板从工艺腔传出至设备的加载端。

为了保证载板在传输运动时，运动方向保持与传输轴线一致，腔室侧板内侧设计有传动调整机构，传动调整机构的主要结构由与腔室侧壁焊接一体的传动调整支撑台与安装在台上的调整轮固定轴及绕轴旋转的调整轮组成。而根据实际调试运行发现此种方案存在以下几点缺陷：

1)传输腔室较大，调整轮支撑台与旋转轴安装的垂直度难以保证，导致调整轮与载板的间隙难以保证至要求尺寸，载板运行稳定性不高。

2)传输调整轮支撑台与腔室为焊接一体结构，旋转轴安装在支撑台上，此种结构方式无法在设备调试时根据实际需要去调整调轮与载板之间的间隙大小，风险较大。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是解决现有的传输装置中传输调整轮与腔室为一体结构，使调整轮安装位置的平面度以及调整轮与载板间隙调整无法达到要求的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种传输装置，包括传输组件和调整组件，所述传输组件包括腔室和位于所述腔室内用于输送载板的传送件，所述调整组件沿所述载板的传输方向设置于所述腔室的内侧壁上；所述调整组件包括调整轮和调整轮支撑台，所述调整轮支撑台与所述腔室的内侧壁通过第一连接件可拆卸连接，所述调整轮设置于所述调整轮支撑台上。

其中，所述第一连接件包括第一紧固件，所述调整轮支撑台上设有第一安装孔，所述第一紧固件通过所述第一安装孔将所述调整轮支撑台与所述腔室的内侧壁连接。