[实用新型]一种导气装置

说明书

本实用新型提供了一种导气装置，导气装置包括进气组件、盖板和分流组件。进气组件具有第一入气口和第一出气口，其包括状本体和连接管。盖板具有通孔，盖板设置于进气组件上，且通孔与第一出气口对接，使得从进气组件进入的气体经盖板上的通孔送出。分流组件，其对应盖板的通孔设置。气体由第一入气口进入进气组件，并由第一出气口和盖板的通孔送出而作用于分流组件，以改变气体的流动方向，减少气体直吹物体表面，造成对物体表面形成的冲力较大。在进气组件的连接管内壁上设置隔离层，以减少气体接触连接管中的杂质，隔离层可为氮化硅镀层，以从源头减少气体中的杂质，且该装置结构简单，成本低。

技术领域

本实用新型涉及金刚线切割领域，尤其涉及一种导气装置。

背景技术

光伏发电是当前最重要的清洁能源之一，具有极大的发展潜力。由于铸造多晶硅的制备工艺相对简单，成本远低于单晶硅，多晶硅逐步取代直拉单晶硅在太阳能电池材料市场的主导地位，成为行业内最主要的光伏材料。

日前金刚线切割凭借其巨大的成本优势，正逐步替代砂浆切割技术，但由于硬质点存在的原因，导致金刚线在实际切割过程中仍然出现频繁断线、碎片高等问题，因此，降低铸造多晶硅锭中硬质点具有极强的现实意义。硬质点主要是由于碳氮杂质而引起的，铸造多晶硅中碳杂质有两大来源。一个是坩埚内的碳/碳部件，另一个是坩埚外部石墨材料老化，主要以一氧化碳的溶解引入铸锭中。目前行业里使用的导气筒材质都是C/C复合材料，会导致氩气进入时就从侧壁带入碳杂质，从而影响硅锭质量和硅片光电转换的效率。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述技术问题，本实用新型提供了一种导气装置，通过在连接管内壁设置隔离层，以减少气体与杂质的接触，且设置分流装置，以减少气体对物体表面的直吹。

本实用新型提供了一种导气装置，其特征在于，所述导气装置包括：

进气组件，其具有第一入气口和第一出气口；

盖板，其具有通孔，所述盖板设置于所述进气组件上，且所述通孔与所述第一出气口对接；

分流组件，其对应所述盖板的通孔设置；

其中，气体由所述第一入气口进入所述进气组件，并由所述第一出气口和所述盖板的通孔送出而作用于所述分流组件，以改变气体的流动方向。

在一些实施例中，所述进气组件包括块状本体和连接管，所述块状本体内设有贯通所述块状本体的通道，所述通道的一端形成所述第一入气口，所述连接管的第一端形成所述第一出气口，所述连接管的第二端与所述块状本体上的通道的另一端对接。

在一些实施例中，所述块状本体的形状为立方体状，所述通道的两端分别置于所述立方体本体的相邻两平面上。

在一些实施例中，所述连接管的内壁设置隔离层，以隔绝流经所述连接管的气体与所述连接管的内壁的接触。

在一些实施例中，所述隔离层为氮化硅镀层。

在一些实施例中，所述连接管的第二端与所述块状本体可拆卸式连接。

在一些实施例中，所述连接管的第一端与所述盖板的通孔对接，对接方式采用螺纹连接或焊接。

在一些实施例中，所述分流组件包括对应所述通孔的分流板，所述分流板与所述盖板通过螺栓连接。

与现有技术相比，本实用新型实施例的有益效果在于：本实用新型通过对连接管内壁表面做处理，在其内表面镀上一层氮化硅层，使得进入的气体不会接触到碳杂质，从源头阻止了碳杂质的引入，从而提高金刚线切割的效率，而且吹出的气体会经由分流组件进行分流，使得流出的气体不会直吹物体表面。

附图说明