[实用新型]一种可同时测量热电参数和霍尔系数的测量系统

权利要求书

1.一种可同时测量热电参数和霍尔系数的测量系统，其特征在于，包括样品台、测试芯片、永磁体、数据采集及测量模块，待测试的待测样品设置于所述测试芯片中，所述测试芯片位于所述样品台中；

所述永磁体位于所述样品台的一侧，用于给所述样品台中的待测样品提供测试磁场；

所述数据采集及测量模块通过测试芯片与待测样品电连接，用于给待测样品提供测试电流以及用于测量待测样品的电参数；

所述测试芯片包括用于测量待测样品两端温度的温度计以及用于给待测样品其中一端进行加热的加热器。

2.根据权利要求1所述的可同时测量热电参数和霍尔系数的测量系统，其特征在于，所述数据采集及测量模块包括电压表、电流源和继电器阵列，所述电压表和电流源均与所述继电器阵列电连接，所述继电器阵列通过测试芯片与待测样品电连接，所述电压表用于测量待测样品的电压参数，所述电流源用于给待测样品提供测试电流。

3.根据权利要求2所述的可同时测量热电参数和霍尔系数的测量系统，其特征在于，还包括温控装置、加热装置和温度传感器，所述样品台为密闭的腔室，所述加热装置和温度传感器放置于所述样品台的腔室中，所述温控装置包括PID控制器和功率调整器，所述PID控制器和所述加热装置均与所述功率调整器电连接，所述温度传感器与所述PID控制器电连接。

4.根据权利要求3所述的可同时测量热电参数和霍尔系数的测量系统，其特征在于，还包括转动电机和电机驱动装置，所述永磁体安装于所述转动电机的输出轴上，所述电机驱动机构用于驱动转动电机转动，控制永磁体转动。

5.根据权利要求4所述的可同时测量热电参数和霍尔系数的测量系统，其特征在于，所述温度计为薄膜铂电阻温度计，所述温度计为两个，分别位于所述待测样品的两端且与所述待测样品的两端接触。

6.根据权利要求5所述的可同时测量热电参数和霍尔系数的测量系统，其特征在于，所述加热器为薄膜电阻丝加热器，所述薄膜电阻丝加热器为两个，分别位于所述待测样品的两端且与所述待测样品的两端接触。

7.根据权利要求6所述的可同时测量热电参数和霍尔系数的测量系统，其特征在于，所述测试芯片包括16个电极，第二电极、第三电极、第四电极、第五电极、第十电极、第十一电极、第十二电极和第十三电极的输入端均与所述待测样品上对应的测量点电连接，第二电极、第三电极、第四电极、第五电极、第十电极、第十一电极、第十二电极和第十三电极的输出端均与所述继电器阵列电连接，通过继电器阵列控制相应电极接入电压表或电流源，第一电极和第十四电极分别与其中一个薄膜铂电阻温度计的两端电连接，第六电极和第九电极分别与另一个薄膜铂电阻温度计的两端电连接；所述薄膜电阻丝加热器也为两个，其中一个薄膜电阻丝加热器的两端分别与第七电极和第八电极电连接，另一个薄膜电阻丝加热器的两端分别与第十五电极和第十六电极电连接。

8.根据权利要求7所述的可同时测量热电参数和霍尔系数的测量系统，其特征在于，还包括陶瓷基板，所述陶瓷基板具有与测试芯片一一对应的16个电极，所述陶瓷基板的电极与所述测试芯片的电极一一对应电连接。

9.根据权利要求8所述的可同时测量热电参数和霍尔系数的测量系统，其特征在于，还包括上位机，所述电压表、电流源、继电器阵列、PID控制器和电机驱动机构均与所述上位机电连接。