[实用新型]一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置

说明书

一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置，其属于材料分析测试技术领域。该装置设置在透射电镜机械泵或油扩散泵等和照相室之间，透射电镜机械泵或油扩散泵等产生的挥发性油气经由真空管路扩散到油气处理系统，在油气处理系统中经分子筛/炭膜复合膜处理，净化再经照相室端阀门、照相室接头维持照相室洁净的高真空系统。可以实现安全、实用、经济、有效地在透射电镜上安装并进行大规模推广。该装置有效地去除油气，避免了油气进入到照相室内进而在相机表面形成一层油膜，进而影响相机性能及透射电镜正常观测的问题。

技术领域

本实用新型属于材料分析测试技术领域，具体涉及一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置。

背景技术

透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，TEM）是利用高能电子束充当照明光源而进行放大成像的大型显微分析设备，即把经加速和聚集的电子束透射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件（如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件）上显示出来(电子显微学报. 2004,3,269)。目前，透射电子显微镜在材料科学、生命科学等领域得到广泛应用(中国组织工程研究与临床康复, 2009,8,1553;华西口腔医学杂志, 1992,3,224;现代科学仪器, 2013,2,15;电子显微学报,2015, 2,142; Adv. Funct. Mater. 2018, 28, 1801397; Adv. Funct. Mater.2018, 28, 1803278; Adv. Energy Mater. 2017, 7 , 1700171; ACS Catal. 2018, 8,4612; Sustainable Energy Fuels, 2017, 1, 2128)

通常，电镜镜筒内的电子束通道对真空度要求很高，电镜工作必须保持在较高的真空度下，因为镜筒中的残留气体分子如果与高速电子碰撞，就会产生电离放电和散射电子，从而引起电子束不稳定，增加像差，污染样品，并且残留气体将加速高热灯丝的氧化，缩短灯丝寿命。目前，透射电子显微镜获得高真空都是由真空泵抽取的。而这些真空泵通常都是需要泵油来润滑。照相室处在镜筒的最下部，也是真空系统的最末端。目前主要生产厂商均用机械泵或油扩散泵等来抽照相室真空。由于测试需要，其温度一般维持在10摄氏度左右。在实际操作过程中，由于真空的作用以及较低的操作温度，使得机械泵或油扩散泵等中的油气容易进入到照相室内，在相机表面形成一层油膜，影响透射电镜的感光性能。出现该问题时，通常需要返厂维修，一般采用蒸镀方式处理才能去除，费用不菲。由于相机表面有闪烁体，蒸镀过程中易破损，增加了处理难度。到目前为止，还没有针对该问题的有效解决办法。

发明内容

为解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种工艺简单、能有效阻止油气污染透射电镜照相室且易于推广应用的装置。

能够实现上述目的的本发明是一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置与方法，该装置将加装在照相室与真空泵之间，技术核心是将分子筛与多孔炭膜有机结合制备出分子筛/炭膜复合膜，利用分子筛和炭膜在处理挥发油气方面的各自优势，防止油气污染透射电镜照相室。包括如下步骤：

一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置，透射电镜自上而下包括电子枪、聚光镜、样品杆、显微镜、观察窗、观察室和照相室，机械泵分两路连接到照相室，一路为机械泵经机械泵阀、机械泵管和油气处理系统连接至照相室；另一路为机械泵经缓冲罐管连接至缓冲罐，再经过油扩散泵、油扩散泵阀、油泵管和油气处理系统连接至照相室；所述油气处理系统包括两个并联的油气处理单元，油气处理单元包括泵端阀门、油气处理柱和照相室端阀门，油气处理柱自左到右包括无纺布层、分子筛/多孔炭膜层、炭膜柱层、分子筛/多孔炭膜层和无纺布层。