[实用新型]一种用于晶圆转换的工治具

权利要求书

1.一种用于晶圆转换的工治具，其特征在于：包括用于水平放置晶舟盒的底板，所述底板为长方体结构，所述底板一端侧中部贯穿开设有门形结构的槽口，所述槽口两侧的所述底板端面上分别对称垂直安装有长方体结构的挡板，所述槽口正面上方悬空设有竖直放置的长方体结构推板，所述推板朝向所述槽口的一面中部竖直粘接有长方体结构的海绵垫条，所述海绵垫条的长度与所述推板的长度相同；所述推板通过设置在所述底板上的推移部件悬挂支撑，所述推移部件可带动所述推板向所述槽口方向横向移动。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆转换的工治具，其特征在于：所述推移部件包括推杆、L型支撑杆、连接杆、横移槽和把手，所述底板一侧面向内开设有水平截面为长方形的横移槽，所述横移槽的长边与所述底板的长边相互平行；所述连接杆一端垂直固定连接在所述推板背离所述槽口的一面中心位置上，所述连接杆另一端与所述L型支撑杆的短杆垂直固定连接，所述L型支撑杆与所述连接杆在同一竖直平面内，所述L型支撑杆的长杆端部垂直向内开孔穿过所述槽口底面并伸入到所述横移槽内，所述推杆一端插入所述横移槽内并与所述L型支撑杆的长杆端部垂直固定连接，所述推杆另一端安装有把手，所述把手置于所述横移槽外部。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆转换的工治具，其特征在于：所述槽口与所述连接杆的长度之和加上所述推板与所述海绵垫条的厚度之和等于一个晶舟盒的长度。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆转换的工治具，其特征在于：所述晶舟盒的底面中部设有一连接肋板。

5.根据权利要求4所述的用于晶圆转换的工治具，其特征在于：所述推板的长度等于所述晶舟盒内承载晶圆的层高。

6.根据权利要求4所述的用于晶圆转换的工治具，其特征在于：所述连接肋板邻近所述槽口的长边与所述槽口底面边沿齐平。