[实用新型]一种多线切割机减震装置

说明书

本实用新型提供一种多线切割机减震装置，包括对称放置的两个减震组件，减震组件包括滚筒组件和位于滚筒组件两侧的支撑组件，滚筒组件包括滚筒轴和包覆在滚筒轴外侧的滚筒，支撑组件包括固定板、支撑件、微调板和弹性件，支撑件为一端封闭的壳状结构，支撑件与微调板转动连接，支撑件和滚筒轴相固定，弹性件安装在所述微调板上，且与支撑件相抵接,微调板与固定板之间设有微调组件，微调组件包括半球形的柱头、与柱头相连的支杆以及螺纹连接在支杆上的两个锁紧螺母，固定板上设有套设在支杆上的通孔，且两个锁紧螺母分别位于固定板的两侧，本实用新型不仅可以吸收金属丝的振动，降低金属丝从导轮槽中跳出的几率，而且可进行实时位置微调。

技术领域

本实用新型涉及一种多线切割机减震装置。

背景技术

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式，但是当金属丝高速切割时，由于金属丝的振动频率大、振幅大，所以很容易使得金属丝从导轮槽中跳出，引起金属丝之间互相摩擦，从而造成断线，因此对于金属丝在切割时，对于金属丝的减震装置是必不可少的，而普通的弹簧或是板簧的减震在金属丝的经常性的压缩状态下，经常会发生变形，而微小的变形则会导致对于金属丝的减震效果大大降低，从而不可避免的要对弹性部件进行更换。

因此急需一种不仅可以吸收金属丝的振动，降低金属丝从导轮槽中跳出的几率，而且可进行实时位置微调的的多线切割机减震装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多线切割机减震装置，不仅可以吸收金属丝的振动，降低金属丝从导轮槽中跳出的几率，而且可进行实时位置微调。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种多线切割机减震装置，包括对称放置的两个减震组件，减震组件包括滚筒组件和位于滚筒组件两侧的支撑组件，滚筒组件包括滚筒轴和包覆在滚筒轴外侧的滚筒，支撑组件包括固定板、支撑件、微调板和弹性件，支撑件为一端封闭的壳状结构，滚筒轴的端部、固定板、微调板以及弹性件均设置在支撑件的内部，支撑件通过转轴与微调板转动连接，且支撑件和滚筒轴相固定，弹性件安装在所述微调板上，且与支撑件相抵接,微调板与固定板之间设有四个成矩形分布的微调组件，微调组件包括半球形的柱头、与柱头相连的支杆以及螺纹连接在支杆上的两个锁紧螺母，微调板的底侧设有与柱头的球面相卡和的球面凹槽，固定板上设有套设在支杆上的通孔，且两个锁紧螺母分别位于固定板的两侧。

优选的，柱头与固定板上侧的锁紧螺母之间设有弹簧，弹簧套设在支杆上，且弹簧的一端抵接在锁紧螺母上，弹簧的另一端抵接在柱头底部的平面上。

优选的，弹性件包括第一端部和第二端部，第一端部固定连接于微调板，第二端部与支撑件相抵接。

优选的，弹性件为板簧或是橡胶垫。

优选的，板簧与微调板之间通过螺栓固定连接。

本实用新型的有益效果是：由于金属丝是在高速运动下实现的切割，在切割时，进给工作台带动工件朝向运动中的金属丝运动，进而与金属丝接触，实现切割，但是由于切割时，金属丝受压变形易产生振动，因此在金属丝受压的对侧设置有两个减震组件，且减震组件中的滚筒抵接在金属丝上，金属丝压迫滚筒，进而通过滚筒轴传递给支撑件，进而通过支撑件与微调板之间的弹性件，吸收金属丝的振动，使得降低金属丝的振动幅度，且由于长期的受压易使得弹性件受压变形，而固定板连接机床的位置是固定不便的，因此易造成支撑件与金属丝之间无压迫时就处于脱离状态，使得金属丝受压一定程度后才可与支撑件接触，影响减震的效果，因此通过设置在微调板与固定板之间的微调组件，调节支杆在固定板内的位置，即可实现微调板与固定板之间的位置的微调，从而可以抵消弹性件受压疲劳变形后产生的形变，不用频繁更贱弹性件，节省了工作成本。

附图说明