[实用新型]非均匀膜层产品的镀膜设备有效
| 申请号： | 201821709021.0 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN208949402U | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 徐佳霖;龙家勇;李景薇 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人： | 占丽君 |
| 地址： | 100176 北京市亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工艺腔室 膜层 镀膜设备 非均匀 传送辊 电机 本实用新型 传送辊组 电机驱动 独立调整 镀膜基材 控制系统 速度曲线 位置精准 分子泵 可控的 镀制 基材 改造 封闭 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种非均匀膜层产品的镀膜设备，包括封闭的外壳，在所述外壳内安装有多个工艺腔室和多个分子泵，每一工艺腔室下方均布置有n个传送辊，其中n≥2，其特征在于：每一工艺腔室均设置有对应的电机，每一工艺腔室下方的n个传送辊均共用各自对应的电机驱动。
2.根据权利要求1所述非均匀膜层产品的镀膜设备，其特征在于：每一工艺腔室下方的任一传送辊作为主动辊与对应布置的电机的输出轴同轴连接，每一工艺腔室下方的其它传送辊作为从动辊与主动辊传动。
3.根据权利要求2所述非均匀膜层产品的镀膜设备，其特征在于：每一工艺腔室下方的从动辊与主动辊之间采用皮带传动。
4.根据权利要求1或2或3所述非均匀膜层产品的镀膜设备，其特征在于：n＝3。
5.根据权利要求4所述非均匀膜层产品的镀膜设备，其特征在于：所述分子泵安装在工艺腔室内。
6.根据权利要求4所述非均匀膜层产品的镀膜设备，其特征在于：所述分子泵与工艺腔室沿基材的传送方向交替布置，并且每一分子泵下方也对应布置有n个传送辊，每一分子泵均设置有对应的电机，每一分子泵下方的n个传送辊均共用各自对应的电机驱动。
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