[实用新型]一种单晶炉快速冷却装置

权利要求书

1.一种单晶炉快速冷却装置，其特征在于，包括炉底板，所述炉底板下方设有步进电机，所述炉底板上方从下到上依次设有炉加热腔、碳支撑环和上保温层，所述炉加热腔内设有加热层，所述炉加热腔与所述炉底板固定连接，所述碳支撑环与所述上保温层固定连接；

所述炉加热腔侧面设有顶升件，所述顶升件一端与所述碳支撑环固定连接，另一端贯穿所述炉底板并由所述步进电机推动而作上下运动。

2.如权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置，其特征在于，所述单晶炉快速冷却装置还包括设于所述炉底板下方的传动装置，所述传动装置包括直线模组，所述直线模组包括顶升基座和滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括螺杆和螺母，所述顶升基座分别与所述螺母和所述顶升件连接，所述步进电机驱动所述螺杆旋转。

3.如权利要求2所述的单晶炉快速冷却装置，其特征在于，所述传动装置包括波纹管，所述顶升件穿过所述波纹管与所述顶升基座连接，所述波纹管两端分别与所述炉底板和所述顶升基座密封连接。

4.如权利要求1-3任一所述的单晶炉快速冷却装置，其特征在于，所述顶升件包括依次连接的顶升杆与顶升板，所述顶升杆与所述顶升基座连接，所述顶升板与所述碳支撑环连接。

5.如权利要求2或3所述的单晶炉快速冷却装置，其特征在于，所述传动装置还包括减速器，所述减速器包括输出端与输入端，所述输出端与所述螺杆连接。

6.如权利要求5所述的单晶炉快速冷却装置，其特征在于，所述单晶炉快速冷却装置还包括传动软轴；所述传动装置至少有两个，所述至少两个传动装置均布于所述炉底板下端边缘；所述步进电机通过所述传动软轴与所述减速器的输入端连接。

7.如权利要求5所述的单晶炉快速冷却装置，其特征在于，所述传动装置至少有两个，所述至少两个传动装置均布于所述炉底板下端边缘，所述传动装置均设有步进电机驱动。