[实用新型]一种粉尘清理装置及包含该装置的单晶炉尾气自动除尘器

说明书

本实用新型涉及单晶硅生长设备技术领域，公开了一种粉尘清理装置及包含该装置的单晶炉尾气自动除尘装置。单晶炉尾气自动除尘装置，包括罐体，罐体上端设有出气口，罐体下端设有进气口；罐体内由上到下依次设有第一固定架、移动架、第二固定架，第一固定架上方设有推拉电磁铁，推拉电磁铁用于将移动架推向第二固定架；第一固定架与移动架之间设有拉伸件，拉伸件用于保持移动架向第一固定架运动的趋势；移动架和第二固定架之间设有过滤布袋，第二固定架上设有过滤口，过滤布袋分别与移动架和过滤口连接。通过设置推拉电磁铁和拉伸件，使过滤布袋产生上下抖动，从而除尘器中的过滤布袋不需要人工打开罐体进行除尘，生产效率提高。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生长设备技术领域，尤其涉及了一种粉尘清理装置及包含该装置的单晶炉尾气自动除尘装置。

背景技术

单晶硅生长炉是一种在真空和惰性气体( 氩气为主) 环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。目前的单晶硅生长炉在长晶过程中，炉内会产生粉尘和一氧化碳颗粒。为了保证单晶生长炉内真空，需要接入真空泵抽真空，产生的尾气接入油雾分离器过滤之后排入大气中。在真空泵抽真空过程中，炉内气体中大量粉尘和一氧化碳颗粒会直接吸入真空泵内，粉尘与真空泵内的润滑油混合，导致真空泵润滑失效，如若润滑油更换不及时，会导致真空泵损坏，但润滑油更换频繁，不仅资源浪费严重，而且加大了拉晶成本，影响生产效率。当前的解决方式是在真空泵体与单晶炉之间连接一个除尘过滤罐。除尘过滤罐内含滤芯，气体通过滤芯能过滤大量粉尘。但同时粉尘会附着在滤芯上，很快会使滤芯堵塞，导致单晶炉内压力急剧升高，从而影响生产。因此，工人会经常手动打开过滤炉，拿出滤芯，清理附着在滤芯上的粉尘。这个过程需要人工操作，不仅耗时影响工作效率，而且增加很多额外劳动力。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种粉尘清理装置，自动清理过滤布袋上的粉尘，工作效率高。

本实用新型的目的之二在于提供一种单晶炉的尾气自动除尘装置，能够让真空泵在抽真空的过程中过滤掉炉内气体中的粉尘。

本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现：一种粉尘清理装置，包括第一固定架、设于所述第一固定架下方的移动架、设于所述移动架下方的第二固定架，所述移动架和所述第二固定架之间设有过滤布袋，所述过滤布袋分别与所述移动架和所述第二固定架固定连接；

所述第一固定架上方设有推拉电磁铁，所述推拉电磁铁用于将所述移动架推向所述第二固定架；

所述第一固定架与所述移动架之间设有拉伸件，所述拉伸件用于保持所述移动架向所述第一固定架运动的趋势。

进一步地，所述推拉电磁铁包括伸缩端，所述伸缩端贯穿所述第一固定架并与所述移动架固定连接；所述拉伸件分别与所述第一固定架和所述移动架固定连接。推拉电磁铁通过伸缩端传递推动移动架的力，拉伸件可以为拉簧等具有回复力的零部件。

本实用新型的目的之二采用如下技术方案实现：

一种单晶炉尾气自动除尘器，包括：

罐体，所述罐体上端设有出气口，所述罐体下端设有进气口；

所述罐体内由上到下依次设有第一固定架、移动架、第二固定架，所述第一固定架上方设有推拉电磁铁，所述推拉电磁铁用于将所述移动架推向所述第二固定架；

所述第一固定架与所述移动架之间设有拉伸件，所述拉伸件用于保持所述移动架向所述第一固定架运动的趋势；

所述移动架和所述第二固定架之间设有过滤布袋，所述第二固定架上设有过滤口，所述过滤布袋分别与所述移动架和所述过滤口连接；

所述第二固定架与所述罐体密封连接，所述进气口设于所述第二固定架下方。