[实用新型]一种多层铝基板的蚀刻加工设备有效

专利信息
申请号: 201821679276.7 申请日: 2018-10-16
公开(公告)号: CN209307508U 公开(公告)日: 2019-08-27
发明(设计)人: 周华隆;唐庭敏 申请(专利权)人: 珠海市联健电子科技有限公司
主分类号: C25F7/00 分类号: C25F7/00
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 俞梁清
地址: 519090 广东省珠海*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 蚀刻 蚀刻组件 蚀刻加工 本实用新型 多层铝基板 独立运行 清洗机构 依次设置 输送辊 基板输送方向 铝基板加工 驱动 多层基板 烘干机构 加工设备 控制组件 设备领域 水平设置 逐层操作 防水槽 蚀刻液 基板 调配 清洗 生产
【说明书】:

实用新型涉及铝基板加工设备领域,特别涉及一种多层铝基板的蚀刻加工设备,包括设有防水槽的机架,机架上沿基板输送方向依次设置有蚀刻机构、清洗机构、烘干机构及控制组件,蚀刻机构包括有水平设置的输送辊及若干个依次设置在输送辊上并且独立运行的蚀刻组件,蚀刻机构与清洗机构之间设置有清洗驱动门,相邻蚀刻组件之间设置有蚀刻驱动门;本实用新型采用相互独立运行的若干个蚀刻组件,使得该蚀刻加工设备可以根据调配不同的蚀刻液对不同材质的基板进行蚀刻生产,提升加工设备的适用性,并且采用若干个蚀刻组件对可对多层基板进行逐层蚀刻或逐层操作,大大提升了蚀刻的质量。

技术领域

本实用新型涉及铝基板加工设备领域,特别涉及一种多层铝基板的蚀刻加工设备。

背景技术

蚀刻机可以分为化学蚀刻机以及电解蚀刻机两类,在化学蚀刻中使用化学溶液,经由化学反应以达到蚀刻的目的,化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术;现在行业内通常所使用的蚀刻机只能单层蚀刻,已无法满足当前行业生产的需求,市场上也出现了写能够进行多次蚀刻的设备,但这些设备在多次蚀刻操作之间不进行隔离,导致各蚀刻操作相互影响,降低蚀刻的质量和精度。

实用新型内容

本实用新型为解决上述问题所采用的技术方案是提供一种多层铝基板的蚀刻加工设备,包括设有防水槽的机架,所述机架上沿基板输送方向依次设置有蚀刻机构、清洗机构及烘干机构,所述蚀刻机构包括有水平设置的输送辊及若干个依次设置在输送辊上并且独立运行的蚀刻组件,蚀刻机构与清洗机构之间设置有清洗驱动门,相邻蚀刻组件之间设置有蚀刻驱动门,所述蚀刻组件包括有电解液管路、正电极、负电极及分设在输送辊上下侧的喷嘴,正电极及负电极分别分设在输送辊的上下侧,喷嘴与电解液管路连接。

作为上述方案的进一步改进,所述负电极与正电极错位布置。

作为上述方案的进一步改进,设置在输送辊上侧的正电极及负电极为导电辊或者电刷。

作为上述方案的进一步改进,所述正电极、负电极可分别沿水平方向往复移动。

作为上述方案的进一步改进,所述蚀刻驱动门可沿竖向靠近及远离输送辊运动,蚀刻驱动门可穿插在相邻输送辊之间的间隙上。

作为上述方案的进一步改进,所述蚀刻驱动门的上端连接有驱动件,蚀刻驱动门的左右侧设置有密封条。

作为上述方案的进一步改进,所述蚀刻组件还包括有设置在输送辊下方的蚀刻液回收桶。

本实用新型的有益效果是:与现有技术相比,本实用新型采用相互独立运行的若干个蚀刻组件,可对基板依次进行蚀刻操作,目的有两个,其一,该蚀刻加工设备可以根据调配不同的蚀刻液对不同材质的基板进行蚀刻生产,提升加工设备的适用性,其二,采用若干个蚀刻组件对可对多层基板进行逐层蚀刻或逐层操作,大大提升了蚀刻的质量;再者,本实用新型在相邻蚀刻组件之间设置蚀刻驱动门,防止相邻蚀刻组件的蚀刻液相互污染问题,方便回收利用蚀刻液。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单说明。显然,所描述的附图只是本实用新型的一部分实施例,而不是全部实施例,本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得的其他设计方案和附图:

图1是本实用新型蚀刻加工设备的结构示意图;

图2是本实用新型的蚀刻组件的结构示意图;

图3是本实用新型的蚀刻组件的较佳实施例的结构示意图;

图4是本实用新型的驱动门的结构示意图;

图5是本实用新型的驱动门的较佳实施例的结构示意图。

具体实施方式

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