[实用新型]一种提高机械手载重的PECVD设备

说明书

本实用新型公开了一种提高机械手载重的PECVD设备，包括：升降立柱、安装在升降立柱上的固定手臂，所述固定手臂的一端可伸出活动手臂，其特征在于，所述固定手臂伸出活动手臂的一端与升降立柱连接，所述升降立柱设置在PECVD设备的活动通道的中间。本实用新型通过将升降立柱设置在PECVD设备的活动通道的中心位置，从而在缓存区或者SIC桨上搬送石墨舟时的最大悬臂长度大幅度减小，通过减少力臂的长度使机械手的承重能力得到大幅度提升，满足PECVD设备的大产能使用要求。

技术领域

本实用新型涉及太阳能工艺设备领域，特别涉及一种提高机械手载重的PECVD设备。

背景技术

PECVD是光伏行业内给电池片做镀膜工序的一种常用设备。机械手是PECVD设备上用于传送石墨舟的一套机械传动结构，通过机械手可以将石墨舟快速传输至各个暂存区及各管的推舟机构的SIC桨上。取代人工操作，从而使生产效率得到大幅度提升。

石墨舟是用于装载电池片的载具，石墨舟装载电池片的数量是决定设备产能的最关键要素。因此，要大幅度提升设备的产能，就需要增加石墨舟装载电池片的数量。行业内一般会通过增加石墨片的数量及加长石墨片的长度来实现石墨舟装片量的增加。增加石墨舟的长度时，设备的长度需相应加长；当增加石墨片的数量时，会增加石墨舟的宽度，从而设备的宽度也需相应增加，当设备宽度增加时，机械手在设备宽度方向的运动行程也需加大，机械手手臂为悬臂式传输结构，悬臂伸出长度越长，其承载能力越弱，如图1所示，常规PECVD设备外部至内部依次为：安装在立柱上的暂存区5；位于中间的可让机械手上升和下降的活动通道；推舟机构的SIC桨6。机械手手臂的升降立柱1是设置在靠设备的最外边，这使得当机械手在推舟机构的SIC桨6上取放石墨舟时，机械手的手臂运动所形成的悬臂长度为活动手臂运动行程与活动手爪运动行程之和，悬臂长度达到最长，承载能力低。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述现有技术中存在的技术问题，提出一种提高机械手载重的PECVD设备。

本实用新型采用的技术方案是：

一种提高机械手载重的PECVD设备，包括：升降立柱、安装在升降立柱上的固定手臂，所述固定手臂的一端可伸出活动手臂，所述固定手臂伸出活动手臂的一端与升降立柱连接，所述升降立柱设置在PECVD设备的活动通道的中间。

所述固定手臂的侧边设有连接件，所述连接件与升降立柱的滑块连接。

所述活动手臂上设有可在其底面滑动用于抓取石墨舟的活动手爪。

所述活动手臂的下方设有导轨，所述活动手爪上设有与导轨配合的第二滑块。

与现有技术比较，本实用新型的优点在于：

本实用新型通过将升降立柱设置在PECVD设备的活动通道的中心位置，从而在缓存区或者SIC桨上搬送石墨舟时的最大悬臂长度大幅度减小，通过减少力臂的长度使机械手的承重能力得到大幅度提升，满足PECVD设备的大产能使用要求。

附图说明

图1为现有技术的结构简图；

图2为本实用新型的结构简图；

图3为机械手臂的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图以及实施例对本实用新型的原理及结构进行详细说明。