[实用新型]一种介质熔炼后硅料高效提纯的装置有效
| 申请号： | 201821674963.X | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN209383396U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 肖承祥;庞大宇;郭校亮;唐子凡;侯雨新 | 申请（专利权）人： | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 朱昀 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市即墨市蓝色硅*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 熔炼坩埚 本实用新型 熔炼 硅料 能量分布模式 电子束熔炼 熔炼槽 提纯 液口 太阳能级多晶硅 挥发性杂质 逐渐减小 导液口 碳化硅 多模 内槽 去除 制造 | ||
1.一种介质熔炼后硅料高效提纯的装置，其特征在于：具有一熔炼坩埚，熔炼坩埚的结构为由后端向导液口倾斜；熔炼坩埚内具有若干间隔，每个间隔内槽对应一个熔炼槽，每个熔炼槽对应一个导液口。
2.如权利要求1所述的介质熔炼后硅料高效提纯的装置，其特征在于：所述熔炼坩埚的倾角为5-10°。
3.如权利要求1所述的介质熔炼后硅料高效提纯的装置，其特征在于：熔炼坩埚下方连接熔炼坩埚轴，熔炼坩埚轴与机构通过动密封连接，机构外部设有熔炼坩埚翻转液压系统及水平移动电机。
4.如权利要求1所述的介质熔炼后硅料高效提纯的装置，其特征在于：所述介质熔炼后硅料高效提纯的装置包括送料机构、炉体、电子枪、熔炼坩埚、凝固坩埚；炉体由内外两侧组成，中间为中空结构，作为冷却水通道；送料结构连接在炉体的上端，炉体的一侧与吸真空结构相连，上方为电子枪，向下发射电子束，电子枪与吸真空结构相连；炉体内、电子束照射方为熔炼坩埚，内部空间即硅熔池，熔炼坩埚的后端位于送料机构的送料口下方，导液口端位于凝固坩埚的开口上方；凝固坩埚设于炉体底部。
5.如权利要求4所述的介质熔炼后硅料高效提纯的装置，其特征在于：所述电子枪的数量为1个。
6.如权利要求4所述的介质熔炼后硅料高效提纯的装置，其特征在于：所述炉体的一侧的吸真空结构为依次连接的机械泵Ⅰ、罗茨泵Ⅰ、扩散泵，扩散泵的端部与炉体相连；电子枪一侧的吸真空结构为依次连接的分子泵、罗茨泵Ⅱ、机械泵Ⅱ，分子泵的端部与电子枪相连。
7.如权利要求1所述的介质熔炼后硅料高效提纯的装置，其特征在于：炉体的一侧设有充气阀。
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